中古 NIKON NSR 2205 i11D #9364623 を販売中

ニコンNSR 2205 i11Dは、高度なリソグラフィ用途向けに設計された最先端のウェーハステッパーです。全自動ウェハハンドリングシステムと、露光時の精度・精度を高める光学ユニットを搭載しています。NIKON NSR-2205I11Dは、アスペクト比の高い大規模デバイスをはじめ、さまざまなデバイスやプロセス条件に簡単に対応できます。NSR 2205I11Dは、高度なリソグラフィ用途向けに更新された光学機械設計を備えています。このツールは、高いNA照明だけでなく、細かいアライメントと非常に正確な露出を保証するオートフォーカスとオートアライン機能を備えています。このアセットはまた、焦点の深さが広がり、高精度の焦点と歪みの補正により、ユーザーに予測可能なデバイス結果を提供します。さらに、幅広いレイアウト条件にわたってリソグラフィ精度を維持するための高度なオーバーレイ制御装置を搭載しています。このシステムは、全自動ウェハハンドリングユニットを備えており、スループットの向上と手動ウェハハンドリングに伴うダウンタイムの削減に役立ちます。NSR-2205 I11Dにはロボットアームが内蔵されており、一度に最大40個のウェーハを処理でき、各ウェーハを複数回露出してスループットを向上させます。さらに、MicroSpot技術を使用してウェーハレンズの収差を低減することができます。NIKON NSR 2205I 11Dは、高度なプロセスの高解像度印刷のための高いプロセス緯度と広い露光ダイナミックレンジを備えた0。1 µmまでの印刷分解能を提供します。このマシンはまた、クローズドループ露出と過剰露出制御を提供する洗練されたプロセス制御ツールを備えています。この資産には、プロセスの整合性を確保し、歩留まりの最適化を促進するウェハレベルの計測モデルが装備されています。NIKON NSR-2205 I 11 Dは、高度なリソグラフィ用途の高精度印刷に最適なソリューションです。この装置の特徴は、最適な露出精度と再現性、および高いスループットを保証します。このシステムは、柔軟性と拡張性を考慮して設計されており、さまざまなプロセス条件で最大限のパフォーマンスを発揮します。ニコンNSR 2205 I 11 Dは、高度なリソグラフィ用途に最適です。