中古 NIKON NSR 2205 i11D #9359229 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、優れた画質、高い生産性、およびプロセス安定性の向上を特徴とする高度な没入ステッパーです。5。0 x 5。0 mmのフィールドサイズで、サブミクロンデバイス製造アプリケーションで使用するように設計されています。このスタンドアロン装置は、ステッパーとイマージョンスキャナの両方の技術を統合し、最適なプロセス制御を可能にします。高速4K液浸光学系を搭載し、優れた画質を実現しています。世界をリードするレーザーパターンジェネレータを使用して、フィーチャーサイズとコントラストを最適化します。このユニットは、高速なパターン転送と短いスキャン時間を可能にするために、ウェハ専用のデータ処理アーキテクチャで構築されています。また、ハイスループット検査を可能にする専用の画像処理エンジンを備えています。NIKON NSR-2205I11Dは、高い生産性とプロセスの安定性を提供するように設計されています。LELE （Litho-etch-Litho-etch）機能を内蔵しており、複数のフォトリソグラフィー層を同時に使用できます。高絞り液浸レンズ、環状照明レンズ、オフアクシス照明システムなど、幅広い光学素子に対応しています。また、露出フィールドステッチと露出パターンステッチ機能を内蔵しており、高速なウェハプロービングと迅速な露出時間を実現しています。NSR 2205I11Dには、露光時間をさらに大幅に短縮する高速Z駆動オプションも装備されています。正確なアライメントと露出制御のためにジョイスティックと6軸電動ステージが装備されています。NSR-2205 I11Dは、サブミクロンデバイス製造業界向けの費用対効果が高く、信頼性の高い高生産性ウェハステッパーです。最先端の光学系とイメージングにより、最も困難な製造プロセスでも優れた画質とプロセスの安定性を実現します。さらに、工場での高速データ処理とパワーエクスポージャー機能により、あらゆるウェハ製造において信頼性が高く、費用対効果の高いツールとなっています。