中古 NIKON NSR 2205 i11D #9300309 を販売中

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 9300309
ウェーハサイズ: 6"
i-Line steppers, 6".
ニコンNSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、高精度リソグラフィ用に設計された先進的なイメージング機器です。このシステムは、サブミクロン分解能を生成することができ、多様な生産プロセスで使用することができる非常に汎用性の高い設計を備えています。この最先端のユニットは、高性能なイメージング特性と信頼性の高い動作を提供します。NIKON NSR-2205I11Dは13インチのフィールドサイズを備えており、直径200mmまでのウェーハに対応できます。NIKON CFI60光学レンズを搭載し、高解像度・高精度画像に最適です。また、エッジ認識と隣接するダイの自動アライメントを備えた自動ウェーハアライメントツールも組み込まれています。この資産は、あらゆるエクスポージャーで高い収率をもたらします。さらに収率を向上させるために、画像歪み補正装置を搭載し、実際の歪みを補正して画質を安定させます。ステッパーは、低真空レンズチャンバーと高度な投影光学設計を誇り、レンズの歪みによる全体的な収差を低減し、システムの精度を高めます。また、ダブルシャッターユニットを備えており、露光時間を短縮し、スループットを向上させます。また、NSR 2205I11Dには高速アライメントマシンが搭載されており、ウエハに対してパターンの位置を素早く測定することができます。NIKON NSR-2205 I11 Dは、高い生産性と品質を念頭に設計されています。その革新的なデザインは、最高露出速度180ウェーハ/時間で優れたスループットを提供します。また、ウェーハの汚れやエアーショックを軽減するピックアップ機構を備えています。オートチャッキングツールは、露出時にウェーハを確実に固定します。また、光学素子を最適な状態に保つための自動レンズバレル洗浄モデルも搭載しています。全体として、NSR-2205 I11Dは、今日の半導体生産プロセスのニーズを満たすように設計された先進的なイメージング機器です。高解像度、高精度、およびスループットを提供し、信頼性の高い動作を提供します。革新的な設計と高度なイメージング要素により、あらゆる生産ラインに組み込むことができ、最高の収量と品質を保証します。
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