中古 NIKON NSR 2205 i11D #9284006 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、ハイエンド半導体デバイス製造用の2ビーム2フィールドステッパーです。これは、0。2 μ mの高分解能で、重要かつ高精度な幾何学的パターンを生成することができます。NIKON NSR-2205I11Dは、高分解能の小型NA光学システムを備えたマルチアパーチャ・干渉光学装置を搭載しています。その光学ユニットは、ミラー、レンズ、曲面照明を使用して、最適なパターン検出のためのエネルギー形状を正確に形成します。このマシンには、0。13 μ mのピクセルサイズと、計算時間を最小限に抑え、デバイスの生産サイクル時間への影響を最小限に抑えるための低レベルのバイナリ処理アルゴリズムのセットを備えた2つのリネスカンカメラも含まれています。NSR 2205I11Dのウェハステージは、高精度、高速、および低ノイズ動作の要件を満たすように設計されています。線形段階はアルミ合金フレームから成り、剛さ、減衰、非線形運動および安定性の最もよい組合せを提供するように設計されています。埋め込まれた磁気モーターツールはステージに電力を供給し、パルス幅変調やリアルタイム自動補償などの特別な機能を備えています。この磁気モータアセットは、精密なビームアライメントのための高度なキネマティックカップリングとギアメカニズムと組み合わされています。NIKON NSR-2205 I11Dのデュアル波長スキャン機構は、広いスペクトル（UV to Visible）と狭いスペクトル（UV）の両方を備えており、より高い精度と効率的な動作を提供します。NSR 2205 i11Dは高いスキャン精度を有し、半導体生産ラインにおけるウェーハの正確な位置決めと制御を可能にします。また、ステッパーには高速シャッターを装備し、輝度の低下によるウェーハパターンの収差を防ぎます。NSR-2205 I11Dはユーザーフレンドリーで、プロセスパラメータとイーサネット接続の幅広い選択により、簡単なメンテナンスを提供します。従来のステッパーと比較して、このモデルは自動アライメント機能を備えており、手動でもリモートでも使用できるため、より信頼性が高くなります。さらに、内蔵の自己診断モデルにより、電源電圧、照明強度、スペクトル組成などの情報をリアルタイムで観察し、エラー発生時にユーザーに通知することができます。NSR 2205Iは全体的に、ウェーハに高分解能パターンを11Dし、デュアルフィールドスキャン技術を使用して非常に短時間で小型のダイを実装します。高解像度の光学機器と高度な制御装置は、同期動作と正確な生産を保証し、ハイエンドの半導体デバイス製造に最適です。