中古 NIKON NSR 2205 i11D #9272637 を販売中

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepperは、高速および低用量の露出で優れたオーバーレイ性能を提供するように設計された先進的なイメージング機器です。NIKON独自E37A i-lineプロジェクションレンズを採用し、最大200mmまでのウェハサイズに対応し、高フレームレート（最大80,000フレーム/秒）に対応します。高精度で均一な露出を実現する高性能高性能先進OMA（光学モード保証）装置を搭載。スティッションフリーの超高解像度イメージングと高速フォーカスのためのコンパクト軸、デュアルステージメカニズムで設計されており、ユーザーはハイスループットプロセスのためのさまざまな基板アプリケーションにアクセスすることができます。このツールはまた、高性能の14ビットTTL電源と、マスクシフトの最適値を低減するために方向の軸を正確に調整するために使用される自動PDL補正ツールを備えています。このユニークなツールは、エネルギー消費の枯渇を最小限に抑えながら、データアクセスおよび分析機能の柔軟性と正確性を提供します。NIKON NSR-2205I11Dには、高度なActiveJob Processing™アセットも装備されています。この統合されたプロセス制御ツールにより、ユーザーは単一のインターフェイスを使用してすべてのイメージング操作をプログラム、最適化、調整できます。このモデルはまた、他のシステムでジョブデータを統合および共有し、高いレベルの信頼性とユーザーの生産性を提供します。また、ユーザーがウェーハサポート、回転、フォーカス設定、自動ウェーハセンタリング操作を実行できる独自の自動制御機能も備えています。最後に、NSR 2205I11Dは、ユニットの温度を監視し、ヒートシンクを利用して潜在的な熱関連スティクションを排除する統合熱管理システムも備えています。