中古 NIKON NSR 2205 i11D #9251004 を販売中
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販売された
ID: 9251004
ヴィンテージ: 1996
Stepper
MCSV Basic version: 2.31D
OCS Option: 2.18A
Main system: 2.42A
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Alignment
Main computer:
System: VAX4000.90A
Hard disk: DKA200, DKA300
Illumination type: SHRINC3
Revolver type: Conv, ann, small
Wafer stage:
Chuck type, 8"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Wafer loader, 8"
Loader type: Type2 (A3)
OF Type: Notch
Flatzone: 6 O'Clock
Cassette: Left and right
Control rack position: Right side
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Wafer flatness: 1.510 um
Wafer leveling:
X: -0.248 sec
Y: 0.049 sec
Reticle blind setting accuracy:
XP: 0.5 mm
Xm: 0.6 mm
Yp: 0.7 mm
Ym: 0.5 mm
Stepping:
3σ-X: 0.025 um
3σ-Y: 0.023 um
INC Adjustment:
Maximum-minimum: 0.311 um
Curvature: 0.010 um
UR-LL: -0.056 um
UL-LR: 0.081 um
DIS Adjustment:
Maximum-X: 0.037 um
Maximum-Y: 0.047 um
Minimum-X: -0.051 um
Minimum-Y: -0.044 um
Exposure power: 565 mw/cm²
Power uniformity: 0.934%
1996 vintage.
ニコンNSR 2205 i11Dは、高度なリソグラフィおよび検査用途向けに設計された高性能ウエハステッパーです。それは2つの主要な部品、高度の照明装置および高度の移動段階から成っています。照明システムは、半導体ウェーハに高解像度パターンを投影する最適化された投影レンズを形成し、正確に形成された特徴とより高い均一性を可能にします。レンズは水銀アークランプで支えられており、広い範囲で高い照明を提供します。光学部品には、レーザーダイオードと均一な照明を提供する一連のレンズが含まれます。照明ユニットは、プロジェクションレンズのクロスヘアも備えており、精度を高めています。高度な可動ステージは、レンズの表面にウェーハをスムーズに移動させるように設計されており、高い精度と再現性を提供します。ステージは様々なパラメータでプログラムすることができ、正確な動きと所望の作業距離を達成しながら、必要な露出時間を提供することができます。高度な制御システムは、ウェーハが正確に配置されていることを確認するために使用されます。NIKON NSR-2205I11Dは、その信頼性と寿命を保証するいくつかの安全性とメンテナンス機能を備えています。人間工学に基づいた設計により、オペレータの疲労を軽減し、内蔵のメンテナンスリマインダーマシンはダウンタイムを軽減します。また、ウェハステッパーには環境管理ツールが組み込まれており、温度および湿度レベルを監視および記録して部品を損傷から保護します。NIKONは、高品質で高解像度の画像を提供するためにNSR 2205I11Dを設計しました。その高度な照明アセットと移動ステージは、正確で均一な画像を保証し、その安全性とメンテナンス機能は、信頼性と持続的なパフォーマンスを保証します。NSR 2205 I 11 Dは、半導体製造設備におけるウェハリソグラフィ、検査、計測用途に適しています。
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