中古 NIKON NSR 2205 i11D #9247255 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、半導体光リソグラフィープロセス用に構築された先進的なイメージング機器です。ハイエンド半導体デバイスの製造に使用されるウェーハアライメントと精密露出用に設計されています。NIKONのフラッグシッププロダクトとして、優れた性能を発揮し、高度な機能の総合的なポートフォリオを提供します。0。14 μ mの範囲で最大5世代のデバイスジオメトリが可能で、すべてのリソグラフィ作業で優れた分解能と精度を提供します。新設計の光学ステージを搭載し、高速かつスムーズな動作を実現します。最大30kHzの高速スキャンモードでウェーハの正確なアライメントを可能にするユニークなデバイス「Line Scan Aperture」を搭載しています。さらに、独自の「高解像度フォーカスイメージモニタ」を搭載しており、プロセス条件を検出し、プロセス精度を高めることができます。さらに、NIKON NSR-2205I11Dステッパーは高度なパターンマッチングアルゴリズムを採用し、デバイスレベルでの完全登録を実現しています。これにより、最大1。4nmの解像度で精度を向上させることができます。さらに、このシステムは、垂直方向および側方方向のアラインメント、ダブルパターニング、ダブル露出など、さまざまな露出で使用するように設計されています。NSR 2205I11Dのその他の優れた機能には、高度なスキャン/レーザーモード、回折誤差校正モード、ノイズリダクションモード、および防振サブゼロ機能があります。スキャン/レーザーモードを使用すると、重複パターンを高速レーザーで正確にアライメントできますが、回折誤差校正モードは回折関連パターンを低減します。最後に、ノイズリダクションモードとアンチバイブレーションサブゼロ機能の両方が、歪みの防止やウェーハの安定化に役立ちます。全体として、NIKON NSR 2205I11D Wafer Stepperは、高度なリソグラフィープロセス用に設計された革新的で最先端のイメージング機器です。比類のない機能セットは、高解像度、高精度、高精度で、卓越した測定とプロセス制御を提供します。ハイエンドの半導体デバイス製造プロセスに最適で、毎回素晴らしい結果をもたらします。