中古 NIKON NSR 2205 i11D #9246589 を販売中

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 9246589
ウェーハサイズ: 8"
Steppers, 8"
NIKON NSR 2205 i11Dは、1。3メガピクセルのCCDカメラと280nm解像度のステップ/リピート機能を備えた高度なウェーハステッパーです。独自の1.4NAレンズを搭載し、大型物体の高解像度撮影やマルチダイ検査が可能です。NIKON NSR-2205I11Dはマルチパターニング機能を備え、高いスループットと優れたイメージング性能を提供するように構成されています。ステッパーは最大19mmウェーハのサイズで、4インチウェーハを動かす必要なく収容できます。NSR 2205I11Dはまた、振動を低減するために新しいダイレクトドライブモータを使用するスキャナ装置を備えており、その超定義投影システムは正確で安定した解像度を保証します。ダイレクトドライブモータは、ウェーハステージの振動を低減し、より正確なアライメントとスキャンを可能にします。NSR-2205 I11 Dは、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えた使いやすいコントロールインターフェイスを提供します。また、パラメータ設定や操作設定を簡単にカスタマイズでき、ユニットのさまざまな性能特性を微調整できます。空冷プラットフォームで動作し、最大加速は40mm/sec2です。その機械的再現性は0。02um。ステッパーの位置決め精度は0。8〜6ナノメートルで、処理速度は最大450mm/sec2に達することができます。NIKON NSR 2205 I11 Dには、最大8つのウェーハを同時に処理する自動ウェーハカセット搬送機が付属しています。安全面では、NIKON NSR-2205 I11 Dは、ユーザーとサンプルを潜在的な損傷から保護するためのインターロック機構を備えています。また、高度な全自動露光ツールと調整可能なレーザーアライメントツールも備えています。ステッパーはPCとMacの両方のオペレーティングシステムと互換性があり、グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)はユーザーフレンドリーであるようにカスタマイズすることができます。NIKON NSR 2205 I 11 Dウェハステッパーは、高精度およびハイエンドのイメージングアプリケーションに最適です。その高フレームレート性能とマルチパターニング機能により、このステッパーは集積回路とマルチチップモジュールを製造するための優れたソリューションとなります。NSR-2205 I11Dは、最も要求の厳しいアプリケーションのための高性能と信頼性を提供します。
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