中古 NIKON NSR 2205 i11D #9244218 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、シングルウェーハおよびクラスタウェーハ処理用に設計された高性能ウェーハステッパーです。この機械は強力なDUV光学装置によって設計され、最も困難な基質の高精度処理を可能にします。NIKON NSR-2205I11Dは、超高解像度を実現する新世代のステップとリピートシステムを備えています。NSR 2205I11Dは、11メガピクセルセンサを搭載し、0.28µmアライメントを可能にし、大きなチャッキングプレートにより優れた再現性と精度を提供します。また、新たに開発したウェーハアライメントユニットを搭載し、ウェーハの向きを自動検出し、フォトマスクの位置合わせと配置を再現します。また、高速スキャン機を搭載しており、高いスループットと細心の注意を払った基板検査が可能です。NSR 2205 I11 Dは、50MHz NISコントローラとスキャナーモータによって駆動され、信頼性と効果的なモーションコントロールを提供します。また、オートフォーカス機能やステッチ機能も備えており、高い精度を実現しています。NIKON NSR-2205 I 11 Dでは、ウェハステージとマスクテーブルの両方の位置を監視し、位置ドリフトをゼロに修正します。ニコンNSR 2205I11Dは、チップ製造に最適なツールで、高精度かつ再現性の高いアライメント精度を実現します。高度なオートアライメント、スキャン、ステッチ、オートフォーカス機能、光学系や基板表面への損傷を防ぐI/Oインターロックなど、便利な機能がたくさん付属しています。NIKON NSR-2205 I11Dは、高いスループット、高精度、および信頼性の高い性能の優れた組み合わせを提供し、最も要求の厳しいチップおよび半導体アプリケーションに最適です。