中古 NIKON NSR 2205 i11D #9237764 を販売中
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ID: 9237764
ウェーハサイズ: 4"
Stepper, 4"
Panel: MPXIII
Chamber set temperature: Chamber / LLTC / IATC: 23°C
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Laser: 5517B
LSA Laser: 7 mw
ITV Camera: NIKON Original
OF Detection type: NIKON Original
No in-line
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type 2
Wafer condition: SAPPHIRE
Wafer carrier table: Right
FIA
Reticle size, 6"
Reticle library slot: 13 Slots (3 Slots bad)
No barcode & PPD
Control rack PCB
Computer type: VAX 4000 96
Fiducial mark
CDA / Vacuum pipe
STG Guide
SHRINC Lens wheel belt.
NIKON NSR 2205 i11Dは、半導体業界の先進的なアプリケーション向けに設計されたハイエンドで汎用性の高いウェーハステッパー装置です。このデバイスは、最大解像度1。5nmまたは13。5nmのフィールドサイズで10倍の収率で優れた結果を達成することができます。NIKON NSR-2205I11Dは、幅広い機能セットと柔軟性を提供します。革新的な照明システムを搭載し、適応型マルチショット、デュアルフィールド、加速露光技術を提供し、より高い精度と精度で幅広い露光範囲での露出を可能にします。このデバイスは、アクティブ軸制御プラットフォームと強化されたステッチ機能を備えており、シームレスなパターンのステッチと露出を可能にします。また、このデバイスは、より高い機能精度の自動光量制御が含まれています。チップサイズは最大180mmで、大型基板や複雑なパターンを可能にします。さらに、NSR 2205I11Dには高度なイメージングピックアップユニットが付属しており、画像定義と鮮明性の向上、およびより高い倍率能力を提供します。NSR 2205 I11 Dは、高解像度イメージングを提供しながら、信頼性と最適化された性能を提供するように設計されています。高度なウェーハ位置決めが可能で、ウェーハの形状や位置誤差を補正することができます。さらに、エラー低減による操作の簡素化を図り、より簡単で高速な操作を実現します。NSR-2205 I11Dはオールインワンマシンで、1つのパッケージで複数の機能と機能を提供します。これは、製造から金型検査まで、さまざまなハイエンド用途のニーズを満たすように設計されています。高精度・半導体事業においてスピード、精度、効率を向上させ、幅広い生産工程において比類のない性能を発揮します。
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