中古 NIKON NSR 2205 i11D #9237618 を販売中

ID: 9237618
Stepper, 4" Chamber model: N2A Panel: MPXIII Chamber set temperature: Chamber / LLTC / IATC: 23°C AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Laser: 5517B LSA Laser: 14.3 mw ITV Camera: NIKON Original OF Detection type: OMRON No in-line Wafer type: Flat Wafer loader type: Type 2 Wafer condition: SAPPHIRE Wafer carrier table: Right FIA Reticle size, 6" Reticle library slot: 13 Slots No barcode & PPD Computer type: VAX 4000 90A CDA / Vacuum pipe WL/RL Belt Fiducial mark Control rack PCB STG Guide No SHRINC lens wheel belt.
ニコンNSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造用に設計された高度なリソグラフィ装置です。このステッパーは、強力な光学系、高精度スキャンステージ、高性能モータードライブユニットを使用して、優れたデバイス性能を提供します。ステッパーは、steps-and-repeatsメソッドに基づいてフルフィールドイメージを使用して、基板全体に画像の均一性を提供します。機械のモジュール構造により、柔軟性と拡張性が向上し、ダウンタイムを最小限に抑えた運用とメンテナンスが可能です。ステッパーは高度な光学系を使用して、生成された画像の均一性と解像度を高めます。このツールは、11レンズと8レンズのアセットを使用して、最高のステッパー技術で達成可能な解像度で基板領域全体にわたって均一なイメージング性能を提供します。最大25インチのウェーハステージサイズで、高スループットで200mmおよび300mmのウェーハに対応できます。高精度のスキャンステージは、再現性テストを実行し、1秒間のフィードバックを提供し、スキャン中にオートフォーカス、画像コンテキスト、画像解析、画像検証機能を使用して正確な画像処理を保証します。NIKON NSR-2205I11Dウェーハステッパーは、最新のロボット制御システムと組み合わされた高性能モータ駆動装置を備えており、ステージの動的制御のための効率的なウェーハ転送と高精度制御の両方を可能にします。モータ制御システムは、従来のシステムよりも高い精度で加速度、速度、位置を制御することも可能です。このレベルの制御により、より正確なイメージングとミスアライメントエラーの少ない生産性が向上します。NSR 2205I11Dウェーハステッパーには最新の画像処理アルゴリズムも搭載されており、高速かつ正確な画像解析とフィードバックが可能です。このフィードバックを使用して、最適なイメージング結果を得るためにイメージングパラメータを調整することができます。高度な光学、モーションコントロール、イメージングアルゴリズムにより、非常に低い画像エラーを維持しながら、高いスループットレートを実現できます。NSR 2205I 11Dウェーハステッパーは、ダウンタイムを最小限に抑え、極めて高品質な画像を提供することができます。このツールは高い信頼性と汎用性を備えており、幅広い半導体デバイス製造作業を可能にします。この資産は、信頼性の高い高精度ウェーハステッパーを探している組織や個人にとって、生産能力と効率を高めるための理想的な選択肢です。
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