中古 NIKON NSR 2205 i11D #9237616 を販売中

ニコンNSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、高度で高精度なリソグラフィ装置です。半導体基板の正確なパターンを作るために使用されます。ステージ、レーザー、ステッピングモータ、光プロジェクターの4つのサブシステムで構成されています。ステッパー技術を使用して、ウェーハスケールで正確なパターン部品を作成します。このユニットは、24個の同時ウェーハのローディングとアンロード用に設計されており、量産に適しています。NIKON NSR-2205I11Dウェーハステッパーには、ステージとレーザーソースが装備されています。ステージは、パターンの正確なアライメントと製作のための精密なプラットフォームを提供します。レーザー光源は、露光時間を短縮し、パターニングの精度を向上させるために使用されるさまざまな波長の光を生成するために使用されます。ステッピングモーターは、ステージとレーザーを移動するために使用されます。ステッピングモータは、ウェーハ上で正確なパターンを生成するために高速かつ正確なことができます。ステッピングモータは複数の軸コントロールによって制御され、ウェーハスケールでウェーハを正確に見つけてパターン化できます。ステッピングモータはまた、自動高さ調整を備えており、高解像度モデルへの自動相互接続を提供します。光プロジェクターは、ウェーハ上のパターンを投影するために使用されます。それは繊維光学および精密光学部品から微細なパターンを作り出すために成っています。また、より正確なパターンと高解像度を提供するために使用される高い数値開口（NA）を持っています。アライメントとウェーハマッピングシステムを統合しており、ファインアライメントのためのウェーハの正確な位置決めを可能にします。このツールは、テキストの印刷、微細な線と導電パターンの生成、ドライエッチングなど、さまざまなパターン作成作業も実行できます。NSR 2205I11D Wafer Stepperは、オートフォーカス、高いダイナミック性能、25 µmのスキャン解像度、トランスミッションスキャン、半透明レーザー露出などの高度な機能を備えています。また、ウェーハ処理を容易にするために使用されるカスタマイズ可能なソフトウェアおよびハードウェアツールもあります。これらすべてにより、NSR-2205 I11D Wafer Stepperは強力で精密なリソグラフィ資産になります。