中古 NIKON NSR 2205 i11D #9237615 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、半導体製造に使用されるウェハステッパーです。リソグラフィー処理を行う6軸の装置です。カメラの解像度は最大0。248nmで、高精度のイメージングとアライメントが可能です。NIKON NSR 2205は、全場露光、スポット露光、ステップアンドリピート露光など、幅広い画像処理が可能です。NIKON NSR 2205は、645mm×540mmのフィールドサイズで、最大75ウェーハ/時間のフルフィールドスループットを備えています。リフレクターレスステッパー、テレセントリック光学アライメントシステム、斬新なデフレクタブルオプティクスマウント、ワークローディングユニットを備えています。ステッパーは0。01mm、 0。01mmおよび0.1mRad内のピッチ、変位および直線の正確さの非常に正確な露出、それぞれ可能です。これらの機能により、ニコンNSR 2205は、要求の厳しいジョブに対して高いスループットで信頼性の高いイメージングを実行できます。また、NIKON NSR 2205は最先端の画像データ収集機を搭載しています。このツールは、印刷されたパターンデータと基板上のパターンの包括的な測定を提供します。これらのデータを解析することで、印刷パターンの線幅と重要寸法を0。05 μ mの精度で決定することができます。NIKON NSR 2205は、高品質のSEM画像をキャプチャすることも可能です。オプトメカニカル照明アセットを内蔵しており、コントラスト解像度3％の低コントラスト機能を検出できます。NIKON NSR 2205は、光学ノイズと歪みを同時に排除しながら画像をシャープにすることができる画像強化モデルを搭載しています。NIKON NSR 2205には、上記の機能に加えて、高度な制御およびオートメーション機能も搭載されています。ホストPCは数値制御（NC）ドライバを介してウェーハステッパーと通信し、高レベルのユーザー制御を可能にします。さらに、NIKON NSR 2205は光学系の自動校正が可能であり、イメージング体験を向上させます。NIKON NSR 2205は高度なウェーハステッパーで、高いスループットで確実かつ正確に画像処理を行うことができます。内蔵されたopto-mechanic照明装置と画像強化アルゴリズムにより、高コントラストのイメージングが可能です。NIKON NSR 2205は、あらゆる半導体リソグラフィープロセスに最適です。