中古 NIKON NSR 2205 i11D #9237613 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、高度な半導体デバイス製造プロセスの要求に応えるために設計された、高度で高性能なイメージング装置です。このシステムは、高いスループットと優れた解像度を実現する信頼性の高い費用対効果の高いイメージングソリューションです。NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepperは、高精度イメージング用に設計された最先端のKrFエキシマレーザー露光ユニットを搭載しています。露出源は、最大出力250mWのKrFエキシマレーザーを含む150mm径の水晶サブフレームで構成されています。レーザー露光時間は、25-6000 ms。 NSRの範囲内で正確に制御することができます2205I11Dウェーハステッパーは、サブミクロンのXY解像度と+/-0。5umの再現性で、優れたアライメント精度を備えています。ニコンの特許取得済みの高軸DDM（デュアルデュアルモータ）設計とリニアモータの製品で、精度と最大加速度を両立しています。精密なアライメントに加えて、調節可能なフォーカシングメカニズムは、ウェーハトポグラフィに依存しない最適なフォーカスを保証します。ニコンNSR 2205I 11Dウェーハステッパーは、非常に精密なイメージングツールです。直径12インチまでのウェーハに対応でき、ウェーハライブラリはクリーンルームの外に配置されています。密閉されたソフトウェアと自動化されたアライメントとフォーカス機能により、自動化されたプロセスが可能です。先進的なデバイス製造アプリケーションのために、NSR-2205 I11 D Wafer StepperはOPCを内蔵し、デザインルールチェック機能を備えています。NIKON NSR 2205 I 11 Dウェーハステッパーでは、コメントや測定が可能です。この資産には、リモートコントロールと操作のためのPCインターフェイスが装備されています。さらに、高度なデバイス製造プロセスに不可欠な自動欠陥検査機能とウェーハパターン測定を提供します。NIKON NSR-2205 I11 Dウェーハステッパーは、高度な半導体デバイス製造プロセスに不可欠なツールです。最先端のイメージングモデルと優れた精度により、高度な半導体デバイスの高精度なイメージングと製造が可能です。