中古 NIKON NSR 2205 i11D #9236908 を販売中

ID: 9236908
ウェーハサイズ: 6"
Stepper, 6" Reticle, 6" (2) Carriers Illumination: SHRINC3 Lamp illumination: Average power: 949.289 mW / cm² Uniformity: 1.752% Lens distortion: ±0.050 µm Maximum: X: 0.059 Y: 0.042 Minimum: X: -0.031 Y: -0.056 Field inclination: Within: 0.35 µm UL-LR, UR-LL: 0.2 µm AST: 0.25 µm Maximum: 0.276 µm Curvature: -0.016 µm UL-LR: -0.052 UR-LL: -0.032 µm.
NIKON NSR 2205 i11Dは、最も要求の厳しい半導体製造ニーズに対応するために設計された最高級のウェーハステッパーです。超精密なSR光学系と高レベルのアライメント装置を備えており、あらゆる作業で正確で効率的な結果を得ることができます。NIKON NSR-2205I11Dは、5軸の解像度と高速駆動システムを備えた高性能ウエハステッパーです。設置面積が小さく、設置と操作が簡単ですが、優れた光学ユニットは優れた画質を提供します。NSR 2205I11Dは、3「から12」までの基板を処理することができ、0。5ミクロンの登録精度でステップおよびリピートアライメントジョブにも対応できます。NIKON NSR 2205I11Dは、パフォーマンスを確保するために、いくつかの機能を備えています。i-lineおよびDUV照明システムは、タイトな印刷可能な画像サイズを容易にし、精密なモーションコントロールマシンは、超高速のステップとリピートのアライメント精度を提供します。NSR-2205 I 11 Dには、明るいフィールドLED検出器を備えた自動ウェーハアライメントと、デバイス制御を向上させる自動参照も含まれています。最大スループットを保証するため、NSR 2205 I11 Dは多くの革新的な技術を採用しています。高速ウェハハンドリング機能には、ロードロック設計、オンボードツール、並列イジェクトメカニズムなどのオプションが組み合わされています。これにより、最大スループットをほぼゼロの廃棄レベルで駆動することが可能になります。NIKON NSR 2205I 11Dには2つの電子スケールが装備されています。これらにより、データの取得と制御が高速化されます。また、内蔵の制御ツールは、繰り返し可能なリアルタイムのデータ分析を提供します。さらに、高度なコンピューティング機能は、強力でカスタマイズ可能なソフトウェアによって可能になり、機能、ウェーハの向き、処理速度、精度を細かく制御できます。NIKON NSR-2205 I 11 Dは、安定したパフォーマンスを確保するために、多くの機能を提供しています。その温度制御アセットは、より長い動作時間のための安定した環境を確保するのに役立ちます、カスタムクリープモニターとiMode操作モニターの組み合わせは、パフォーマンスを高めることができます。内蔵のオートフォーカスは効率を最大限に高め、マシンのメモリ管理機能はデータ損失を防ぎます。ニコンNSR 2205 I 11 Dは、優れた精度、信頼性、およびスループットを提供する印象的なウェーハステッパーです。その特徴はさまざまなアプリケーションに優れた性能を提供し、最も要求の厳しい半導体製造ニーズに最適です。
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