中古 NIKON NSR 2205 i11D #9236907 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、半導体デバイス製造プロセスにおいて高精度で信頼性の高い性能を提供するために設計された最先端のウェーハステッパーです。このシステムは、ビジョンガイドの高度なアライメント技術を利用して、50nm以下の登録精度と<3 μ m以上のオーバーレイ精度を実現します。また、NIKONの高度照明補正技術を搭載し、局所照明を自動検出し均一性を維持することで生産性を向上させています。さらに、内蔵のフィールドスキャナと拡張Defocus Transfer Protocol、またはEDTPにより、5秒未満の非常に迅速な露出時間を実現します。NIKON NSR-2205I11Dは、深紫外線リソグラフィ、干渉リソグラフィ、インプラントリソグラフィ、ダイレクトライトリソグラフィなど、あらゆる種類の半導体プロセスをサポートします。また、優れた光学性能とマイクロステッピング精度により、素早いデバイス製作プロセスでも高性能を実現しています。NSR 2205I11Dは、ドライリソグラフィとイマージョンリソグラフィの両方で使用することもでき、幅広い種類のスリットタイプがあり、エンドユーザーに大きな柔軟性を提供します。さらに、NSR 2205 I 11 Dは、リアルタイムフォーカスモニタを使用することで、± 1nmまでの精度を集中させることができ、露出誤差を早期に検出することができます。また、NIKON Graphic Language （NGL）を搭載し、ウェーハプロセスとプログラミングを自動化し、DAS （Delta Auto Search）を使用してアライメントを行います。また、ニコン独自のヘリカルマイクロステップ技術により、露光による歪みを低減し、生産性を向上させています。性能面では、NSR 2205 I11 Dは、優れた結果の範囲を提供しています。Rayleigh Interval Optimizerは、従来の照明ソリューションと比較して1.5X〜2Xのスループットブーストを実現します。ウェーハステッパーは、最大フィールドサイズが105。9mm、 0.6X倍率が41。1mm、最小フィールドサイズが4X倍率です。そのステップとリピート解像度の範囲は0。112 μ mまで達成可能で、信じられないほど細かい解像度を可能にします。NIKON NSR-2205 I11Dは、デバイスの製造において優れた性能を提供するとともに、この分野で強く求められているさまざまな機能と性能の強化を提供しています。NIKONは、大規模生産や小規模試作開発においても、新機能や新技術のDファクターをNSR-2205し、エンドユーザーに優れた性能と信頼性を提供してI11ます。