中古 NIKON NSR 2205 i11D #9236906 を販売中

ニコンNSR 2205 i11Dは、生産環境における究極の精度とスループットを必要とするデバイスメーカー向けに設計された先進的なウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、マスクパターンの露出を正確に制御するために光源技術と精密光学を利用しています。最大4。5インチウェーハに対応可能で、高解像度スキャンモードと超高スループット「高速スキャン」モードの両方を備えています。NIKON NSR-2205I11Dウェーハステッパーは「NSR Q-Illumination」と呼ばれるフルフィールドイルミネーション機器を使用しており、X軸とY軸の両方に非常に均一な光線を供給し、全領域で安定した強度を発揮します。このシステムは、パターンのサイズに関係なく、すべてのマスクパターンのウェーハ全体に均一に露出することができます。このモデルの照明ユニットは、照度と焦点の複数のレベルを提供しており、0。5から10 µmまでの幅広いパターンサイズのリソグラフィ性能の向上に大きく役立ちます。NSR 2205I11Dはまた、さらに微調整するために位相シフターを使用し、マスクパターンの形状が不十分な部分でノッチを減らしたり切断したりすることもできます。この位相シフターを使用することで、パターンの露出をより柔軟に制御することができ、より優れた均一なファインフィーチャー解像度を得ることができます。このモデルのスキャンモードは、解像度の選択を提供します。高い解像度は、リソグラフィープロセスに明瞭さと精度を提供する7。5％の線形解像度を達成することができます。高速スキャンモードは、リニア分解能10％の精度で1時間に最大30個のウェーハをスキャンできるため、高スループットプロセスに最適です。このウェーハステッパーのサイズは、照明機に限らず、ウェーハの積み下ろしを効率的かつ精密に行うことができる自動積載サンプルステージを備えています。また、低振動オートフォーカス段を備えており、サンプル表面を正確かつ正確に検出し、最適な露出結果を得ることができます。正確で効率的なウェーハステッパーを必要とする方には、NIKON NSR-2205 I11Dが最適です。高度な光学、照明、スキャンモードは、生産環境のデバイスメーカーにとって非常に貴重な、正確で均一で高速な性能を提供します。