中古 NIKON NSR 2205 i11D #9179509 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、集積回路デバイスの製造に使用される高度なステップアンドスキャンリソグラフィ装置です。このシステムはマルチビームソースに基づいており、非常に高解像度の効率的なダイレクトライティングを可能にします。このユニットは、利用可能なスキャナと比較して最も最適化された高度な光学設計を備えています。4種類のレンズ群で構成されており、比較的平坦な視野と大きな数値の開口部を提供します。これにより、より大きなスペースを必要とする同様のシステムと比較して、コンパクトなマシンで最大5nmの解像度を得ることができます。このツールは、正確なロード/アンロード操作を可能にし、高スループットを可能にする革新的なウエハハンドリングアセットを備えています。また、自動アライメント用の統合カメラモデルも備えています。NIKON NSR-2205I11Dは、専用の補償アルゴリズムを備えた高性能サーボ制御装置によって駆動されます。このシステムは、高い忠実度で最高のパターンの処理を可能にする応答と精度を提供します。また、望ましくない振動を抑制し、ユニットの精度を維持するのに役立ちます。この機械はユーザーフレンドリーで、最小限の努力で作動するように設計されています。これは、効率的なパラメータ設定とメンテナンス操作のためのフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを利用しています。また、GUI上にツールボックスを実装することで、貴重なセットアップ時間を節約できます。NSR 2205I11Dは、5nm以下の機能サイズを必要とするお客様に最適です。CMOSイメージセンサー、モバイルイメージセンサー、画像処理アプリケーションなどの幅広い生産回路に適しています。結論として、NIKON NSR-2205 I11 Dは、高解像度リソグラフィの抜本的な進歩を提供する強力で汎用性の高いウェーハステッピングツールです。高い生産性と精度に必要なすべての要素をカバーする機能セットがあります。最小限の時間で結果を最大化するのに最適な資産です。