中古 NIKON NSR 2205 i11D #9161249 を販売中
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販売された
ID: 9161249
Stepper
Chamber temperature: 23°C
IATC Temperature: 23.3°C
LLTC Temperature: 23.43°C
Refrigerator type: Sendai
Reticle loader type: 6"
No extension library
Reticle stage microscope: 22 mm Fix
No reticle loader bar code
Main computer type (PDP): Vaxstation 4000 / 96
Loader: Type 2
Monitor
Hard disk
Disk drive: Tape drive
Shrink: Shrink1
Alignment: FIA and LSA
Wafer stage chuck size: 8"
Wafer loader type: A2
O/F Type: Flat
Wafer loader cassette: Right
Control & operation rack position: Right
1995 vintage.
ニコンNSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、主に電子機器の製造に使用される高度なウェーハレベルのイメージング機器です。NSRシリーズは、生産ライン環境向けに設計されており、これまでにないスピードで高いスループットと正確な結果を提供します。このシステムは、高度なイメージング技術を使用して、正確なウェーハ投影、位置決め、アライメント、高解像度および高精度を提供します。NIKON NSR-2205I11Dフィルターのレンズは、ウェーハ上のパターンを正確にフォーカスして整列させることができます。単位内の部品すべては堅い材料からなされ、要求された性能変数すべてが満たされることを保障します。機械は精密な動きおよび制御を保障するのに3軸ドリフト制御および線形ドライブ段階を、使用します。ウェーハムーブメントは正確に監視され、より良い再現性、均一性、および改善されたウェーハサイズを提供します。このツールは、複数レベルの露出制御を備えており、ユーザーは特定のジョブ要件を満たすために露出と解像度を調整することができます。統合された照明アセットは、一貫した照明設定を生成し、生産サイクル全体にわたって均一な露出を生み出します。独自の多軸レンズモデルにより、高効率と高精度を実現しながら、温度、温度ドリフトなどの望ましくない条件を自動的に補正します。NSR 2205I11Dには、高度なウエハマッピング装置も搭載されています。この機能により、画像レベルの解像度マッピングと位置制御が可能になり、最終的な画像と製品品質を正確に制御できます。システムの高度なアルゴリズムは、画像データを正確に処理し、製造元に安全に送信します。また、製造工程中にエラーや欠陥をすぐに検出できるため、時間と材料を節約することもできます。NSR 2205 I11 Dは、設計の一環として、統合されたエラーおよび欠陥検出も提供します。これにより、問題を迅速かつ正確に診断し、生産コストを削減し、品質を向上させることができます。欠陥検出機能の一環として、ウェハボンディング検証機は、安全で信頼性の高い結合を容易に確認することができます。要するに、NSR-2205 I11Dウェーハステッパーは、ハイスループット生産作業のための高度なイメージングツールです。正確なイメージング、位置およびアライメント制御、マルチレベル露出設定、安全なデータ伝送、統合されたエラーおよび欠陥検出を提供します。その汎用性の高い機能、高精度、高速スループットにより、電子デバイスの製造に理想的な投資となります。
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