中古 NIKON NSR 2205 i11D #9160392 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、半導体産業におけるデバイス製造向けの先進露光システムです。NIKON Precisionによって開発された、シリコン、ガラス、ポリマーなどの多くの種類のウェーハ上のフォトレジスト層の高解像度パターニングと露出に使用される小型で高精度のステッパーです。NIKON NSR-2205I11Dは、紫外線（UV） LEDアレイと高性能コンデンサーレンズで構成された新開発のiライン照明源をベースにしています。このシステムは、フォトレジスト層の高精度パターン露光に非常に適した均一な強度と帯域幅を提供するように設計されています。ノイズレベルが非常に低いため、非常に敏感なデバイス露出プロセスに適しています。このシステムは高精度で、4角形画像では+/-15ナノメートル、8角形画像では+/-25ナノメートルの最大オーバーレイ精度を備えています。また、NSR 2205I11Dの包括的な機能により、ラインエッジ粗度（LER）を低減し、低DOF値を維持することができます。そのため、コンタクトリソグラフィやディープUVフィーチャーパターニングなどの先進的なデバイス製造プロセスに最適です。ステッパーの剛性構造と走行軸の優れた直線性により、連続運転時でも安定した動作を実現します。この電源は、電磁ノイズを大幅に低減する低電圧で動作します。さらに、優れたモータ位相制御機能により、1/1000分の1の再現性と+/-2ナノメートルの精度で高精度な露光が可能です。NIKON NSR 2205I 11Dは、ステッパーが最も要求の厳しいデバイス製造プロセスの再現性とスループットの課題を処理できるようにするために、大きなウェハチャックとローチルトステージを備えています。ナノメートルレベルの位置決め精度により、優れた露出均一性、再現性、優れた画像品質を保証します。また、この構成により、レンズの性能におけるチップ間のバリエーションを低く抑えるために、大きな焦点の深さを可能にします。NSR-2205 I11Dは、正確で再現性が高く信頼性の高い性能により、高い生産性を提供します。堅牢な設計により、大容量ウェハ処理に適しており、特殊な機能により、現在の半導体製造において最も困難な露出要件を満たすことができます。