中古 NIKON NSR 2205 i11D #9160391 を販売中

ニコンNSR 2205 i11Dは、マイクロリソグラフィープロセスに使用されるウェーハステッパーです。このステッパーは、低反射と吸収特性のためのエキシマレーザー（248nm波長）の光源を持っています。また、2つのレンズを使用してレチクルイメージを低減し、ダークフィールド、ライトフィールド、フォーカスバリエーション、ブライトフィールドなどの技術と互換性があります。このレーザーは、パルス幅が最大300nsの高出力の可変光パルス長を可能にし、信頼性の高いパターニングに最適です。本機は53×63cmの大型テーブルサイズで、直径200mmまでの大型ウェハに対応可能です。正確なアライメントを確保するために、X軸とY軸に沿って0。5 μ mのパターン位置決め精度、0。2 μ mのフィールド平坦性、および0。5 μ mのステージ再現性≤備えています。最大900 mJ/cm2の高出力レーザー露光量に対応可能です。生産性とスループットをさらに向上させるために、最大1000枚/時間のウェーハを処理できます。NIKON NSR-2205I11Dにはユーザーフレンドリーなコントロールパネルがあり、直感的なGUIを備えています。このシステムは、オートチューンなどの高度な技術と統合されています。この機能は、ユニットのパラメータを自動的に調整して精度を向上させ、廃棄物を削減する機能です。さらに、統合されたAuto Recipe機能を使用することで、ジョブの初期化を高速化し、機械精度を向上させることができます。この高度なウェーハステッパーには、穴の検出と余分な画像分析機能を提供するプレインストールされたAlign-Checkerエンジンが付属しています。また、薄膜領域の加工欠陥を検出するように設計されたエッジ検出機能を搭載しています。もう1つの便利な機能は、ジョブ番号とトラッキングコードをカスタマイズできるシリアル番号IDです。NSR 2205I11Dは、半導体デバイスの生産に最適な信頼性と高性能ウェーハステッパーです。その高度な機能と自動化された機能は生産性と精度を大幅に向上させ、直感的なユーザーインターフェイスは非常に使いやすいです。