中古 NIKON NSR 2205 i11D #293799138 を販売中

ID: 293799138
Stepper Total focus deviation: 0.263 µm Astigmatism: -0.21 µm Reticle blind: 0.5 mm to 0.7 mm Focus calibration repeatability: 36 nm Exposure power: 776.520 mW/cm² Integrated exposure control: ≤1.0% Illumination uniformity: 1.177% Reticle rotation: 10 nm Orthogonality: 0.074 sec Wafer flatness: 0.89 µm Inclination: UR-LL: 0.051 µm UL-LR: 0.006 µm Pre-alignment repeatability: X: 5.027 µm Y: 6.615 µm Y-Theta: 14.906 µm Lens distortion: X: 0.032 to 0.033 µm Y: 0.026 to 0.020 µm FIA Overlay: X: 32 nm Y: 28 nm LSA Overlay: X: 57 nm Y: 31 nm Stepping accuracy: X: 22 nm Y: 25 nm.
NIKON i11Dは、半導体デバイスの製造コストを削減し、効率を高めるために設計されたウェーハステッパーです。世界有数の半導体メーカーから信頼されている先進技術を備えた最上位のウェーハステッパーです。NIKON I 11 Dは、高精度加工と高速化を特徴とする多層構造を内蔵しています。大型・太い基板を最高水準に整列・加工することができます。最先端の装置には、高度なオートリピート機構と、さらに性能を最適化する基板リバースアライメントメカニズムが搭載されています。I11Dはまた、手動調整の必要性を排除する完全に自動化されたプロセスを誇っています。生産性と効率性を最大化する幅広い機能を提供します。I 11 Dは、マルチビームレーザーモニター、位置検出システム、プロセス制御ソフトウェアを搭載し、プロセス精度を維持しながら手動補正の必要性を低減します。NIKON i11Dはまた、高速トラックレジスタプロセスを持っており、ルーチンと新しい基板アライメントプロセスの両方を迅速かつ信頼性の高いものにしています。また、自動還流機構と動的熱制御ユニットを備えており、機械のシームレスな動作を保証します。最後に、NIKON I 11 Dには、簡単で直感的な操作のための高度なユーザーインターフェイスとソフトウェアが付属しています。ユーザーフレンドリーなGUI (Graphical User Interface)は、複雑なプロセスを簡素化し、通常の操作にガイダンスを提供するように設計されています。ソフトウェアはまた、常に最新の機能や技術を含むように更新されます。結論として、i11Dは生産性と信頼性を高めるための優れた機能を提供する最高級のウェーハステッパーです。パフォーマンスを最適化しながら手動調整の必要性を低減する最先端の技術を搭載しています。ユーザーインターフェイスとソフトウェアは、最新のトレンドや機能に対応しているため、ツールを使いやすく理解しやすくなります。I 11 Dは、高精度のアプリケーションに最適であり、最高品質の結果を提供するために信頼することができます。
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