中古 NIKON NSR 2205 i11D #293763395 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、半導体デバイス製造用に設計された精密リソグラフィ装置です。最小解像度は0。28ミクロン、最大露光面積は220 mm x 220 mmです。NIKON NSR-2205I11Dは、独自のアプライドドーズコントロール（ADC）自動露出装置を使用して、露出条件に関係なく、再現性と正確な露出結果を確保しています。正確なパターン登録とアライメントのために、NSR 2205I11Dにはデュアルレチクルオートフォーカスシステムが装備されています。この堅牢なユニットは、視野が小さいターゲットパターンを素早く簡単に取得できる手動および自動検索モードを備えています。アライメント精度の推定値は0。1ミクロン（3シグマ）です。NIKON NSR 2205 I 11 Dは、11インチプロジェクションオプティクスとNIKON先進の5X振動低減機を搭載し、倍率ステップあたり2。2 umの投影フィールドサイズを備えています。ミニプロジェクション光学系は、焦点深度（DOF）を低減し、より大きな領域にわたってより高い解像度のパターンを可能にします。投影レンズは、0。2から3。0までのプログラム可能なズーム範囲と0。1から4。2mmまでの焦点範囲を持っています。NSR-2205I11Dは「横方向シフト機能」と呼ばれるものを使用することで、この倍率の範囲を利用することができ、同じマスクをチャックの完全な回転を必要とせずに異なる倍率で使用することができます。スループットの面では、NSR 2205 I11 Dは、ステップタイムが0。6秒、露出時間が0。2秒の低いトラックタイムを備えています。NIKON NSR 2205I11Dは、高いパターンの均一性により、汚染や再作業の少ない優れた製品歩留まりを実現します。さらに、高度なアライメントとオーバーレイ機能により、高いレベルの製品配置精度とバッチ・レプリケーションが可能になります。これにより、コストがかかるレチクルのアラインメントを回避でき、コスト効率を向上させることができます。要するに、NSR-2205 I11 Dウェーハステッパーは、生産条件の広い範囲で優れた結果を生成するように設計された高度なリソグラフィーツールです。NSR 2205 I 11 Dは、小型ながら堅牢なプロジェクションレンズ、デュアルレチクルオートフォーカス資産、高度な5X振動低減モデルを搭載し、最大0。28ミクロンの分解能と0。6秒のステップタイムと0。2秒の露光時間で優れた製品歩留まりを実現します。これは、優れたアライメントとオーバーレイ精度に加えて、デバイスの製造に最適です。