中古 NIKON NSR 2205 i11D #293691303 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、半導体製造のための最先端のウェーハステッパーです。先進的なi-line還元レンズ装置、F2制御オートライフセーフティ機能、高解像度とスループット、そして新しいC1最適化により、転送特性が向上します。このウェーハステッパーは、375nm〜450nmの光源で動作するため、最新のフォトリソグラフィープロセスの適用に適しています。0。1mJ （100mW）から5mJ （5000mW）以上の幅広い露出値を提供します。さらに、ステッパーは、ビューの合計11フィールドを持っており、3次元ナイキストのマッチングとバイナリエンコーディングとの合計9チャンネルを誇っているので、すべてのサイトの選択的な露出を可能にします。NIKON NSR-2205I11Dの中心には6チャンネルビームの光があり、すべてのパターンフィールドポイントの正確なアライメントを可能にする自動アライメントセンシングと微調整トラッキングシステムがあります。ステッピングヘッドにはレーザー干渉計を搭載し、高精度なパターンフィールドを正確に配置します。NSR 2205I11Dはまた、剛性と剛性に優れた部品と統合されたウエハカセット供給ユニットにより、優れた再現性と信頼性を提供します。ステッピングヘッドは低振動環境で動作し、すべての重要部品が静止して安定していることを保証し、スループットが向上し、ミスプリントが少なくなります。全体として、NSR-2205I11Dは優れた性能、優れた再現性、広範囲のユーティリティを提供し、半導体製造に最適なツールです。ステッパーの高解像度とスループット、全視野、最適化された制御マシンは、ユーザーに卓越したレベルの制御、精度、柔軟性を提供します。さらに、低振動環境と優れたウェットエッチング効果により、歩留まり損失を低減することができます。