中古 NIKON NSR 2205 i11D #293690334 を販売中
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NIKON NSR 2205 i11Dは、高精度の集積回路をパターン化するために設計されたウェーハステッパーです。この第5世代i-lineステッパーは、高度な投影光学システムを備えており、露光レベルを5倍に低減し、250 mmの画像フィールドと8 nmの解像度を提供します。NIKON NSR-2205I11Dは、最大解像度5nmと露光パワーの600Wにより、集積回路パターニングに優れたイメージング機能を提供します。NSR 2205I11Dは、厳しい集積回路製造環境での使用を想定して設計されています。精密なパターン配置を可能にする高性能デジタル処理システムを毎回搭載しています。2205 i11Dは、先進のダイレクトドライブガルバノメーター技術を活用して、低ノイズスキャンと高精度ビーム制御を提供し、2ミクロン未満の位置決め再現性と精度を提供します。ウェーハステッパーは、粒子や空中汚染を低減する暗室式クリーンチャンバー設計を採用し、高い生産歩留まりと安定性を実現しています。NIKON NSR 2205I11Dは、フル7xバッチローダー、2軸オートフォーカス、独自の高精度な球面収差低減システムなどの高度な機能を誇っています。7xバッチローダーは、最大200個のウェーハを一度に高速に操作でき、2軸オートフォーカスは反りウェーハを検出し、自動的にフォーカス強度を調整します。さらに、NSR 2205 i11Dは、0。2 sec-1 secから調整可能な幅広い露光時間設定を提供し、1。5〜12インチの範囲のウエハサイズをサポートします。NSR-2205 I11Dには、タッチスクリーンモニターと操作を簡素化するユーザーフレンドリーで直感的なソフトウェアインターフェイスが装備されています。Windows 95、98、 ME、 NT、 2000、 XPなど、さまざまなDOSおよびWindowsベースのオペレーティングシステムをサポートしています。ウェーハステッパーは、生産性とスループットを向上させた高精度の自動ウェーハステッパーを求めるフォトリソグラファーに最適です。
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