中古 NIKON NSR 2205 i11D #293619535 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、半導体・ナノテクノロジー分野における高度な量産ニーズに対応するために設計された高度なウェハステッパーです。このステッパーは高信頼性、高精度、高速であり、マイクロエレクトロニクスデバイスのハイスループットプリプロダクションおよび量産に最適です。ステッパーは、他のモデルよりもはるかに優れたパフォーマンスを実現する多数の機能を備えています。NIKON NSR-2205I11Dの光学系は、電子や光子を基板に応用する高度な独自光学技術を使用しています。これにより、汚染や歪みを最小限に抑えてパターンを正確に配置できます。ステッパーはまた急速な段階の動き、精密な直線および速い露出を提供します。ステッパーは、精度と一貫した再現性で1。5 μ m/secまで移動できる3つのステージを備えています。これにより、基板上のパターンを正確かつ迅速に正確かつ均一に配置することができます。また、低EMIフィルター設計により、ウェーハステッパリング時のノイズやEMI干渉を低減します。ステッパーは、優れた精度と再現性を提供する高度なCCDアライメント装置を使用しています。この自動補正システムは、ステッパーを非常に信頼性の高いように、ずれを補正します。また、基板の高さを監視し、パターン化された各層に最適な条件を維持します。NSR 2205I11Dステッパーは、強力なウエハハンドラと基板位置決め機を使用しています。ウエハハンドラは、最大5つの6インチウエハを制御することができ、基板の上面と底面の両方に材料を直接正確に配置することができます。基板位置決めツールは、最大9ミリメートル/秒で基板を移動させることができ、材料の正確な配置を確保するのに役立ちます。全体として、NIKON NSR 2205 I11 Dは、半導体およびナノテクノロジー業界の高度な量産プロセスのニーズに対応するように設計された先進的なウェーハステッパーです。優れた光学系、迅速なステージ移動、正確なアライメント、フレキシブルなウェハハンドラ、基板位置決めアセットにより、ハイスループットのプリプロダクションおよび生産プロセスに最適です。