中古 NIKON NSR 2205 i11D #293609472 を販売中
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ID: 293609472
Stepper
Resolution: 0.4 µm
DOF: 0.6 µm
Total focus deviation: ≤0.4 µm
Lens inclination: ≤0.2 µm
Lens distortion: Within ±50 nm
Focus control accuracy: Within ±0.15 µm
Illumination uniformity: Within ±2.5%
Power: 700 mW/Cm²
Reticle blind setting accuracy: Within +0.40 mm to +0.80 mm
Reticle rotation: |x|+3s≤20 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 s
Stepping precision: Within 0.040 µm (3σ)
Alignment accuracy (LSA, FIA): |Mean|+3s <0.085 µm
Wafer pre-alignment repeatability: Within ±1.5 s
Wafer flatness: <0.8 µm.
NIKON NSR 2205 i11Dウェーハステッパーは、高度なリソグラフィープロセスや半導体ウェーハの高品質なイメージングに使用される高度な自動ステップ装置です。このシステムは、超高解像度デジタルカメラを使用して半導体部品の最高品質の画像を取得し、精密ステップモータを使用してフォトマスクとウェーハ基板を所望の位置に正確に配置します。NIKON NSR-2205I11Dは、これらの画像を、複数のウェハサイズとフォトマスク構成にわたって正確さと一貫性を確保するように設計された高度な自動ステッピングプロセッサに渡します。このユニットは、精度、精度、再現性を兼ね備えており、サイクルタイムを短縮し、無駄な機械リソースを最小限に抑えることに重点を置いています。これは、高度なローディングツール、二軸インタフェース、および横方向シフト機能などの高度な機能を組み込むことによって行われます。このデュアル軸アセットにより、リソグラフィ工程のより細かい画像解像度とスループットが可能になり、各軸の動作範囲は30ミクロンで、精度はプラスまたはマイナス1。4ミクロンです。横方向シフトフィーチャーは、さまざまなサイズのウェーハに使用することができ、任意のサイズの基板を連続してステッピングすることができます。NSR 2205I11Dには独自のドライブモデルがあり、フォトマスクとウェーハ転送のスループットを確保します。ステッピングプロセス中のウェーハ衝突のリスクを低減するデュアルモータ同期機能を備えています。ステッパーはまた、ウェーハリフティングの高度な機能を提供し、ウェーハリフティングを可能な限り最高の精度で制御します。装置は、0。75ピクセル/ピクセルの相対的なステップ精度、および0。5ピクセル/ピクセルの相対的な精度を提供します。NIKON NSR 2205 I11 Dは、高度な通信システムで設計されており、オンラインモニタリングおよび診断機能と統合されています。これにより、オペレータはユニットのパフォーマンスを維持し、潜在的な問題を迅速かつタイムリーにデバッグできます。さらに、このマシンは、柔軟なユーザー制御と包括的なツールデータ分析とレポート作成を提供する制御ソフトウェアスイートで設計されています。NSR-2205 I11Dは、高度な自動ステッピングアセットであり、高精度で、可能な限り最高のイメージング結果を得るための高スループットを保証します。このモデルは、半導体メーカーやフォトリソグラフィープロセス向けに特別に設計されており、これらのアプリケーションで業界で最も人気のあるシステムの1つです。その高度な機能により、信頼性が高く、正確で高効率な自動ステップ装置をお探しのお客様に最適です。
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