中古 NIKON NSR 2205 i11D #293607244 を販売中
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ID: 293607244
Stepper
Lamp illumination:
Average power: 560.407 mW/cm²
Uniformity: 1.026%
X-Y Axis:
Maximum: 0.039, 0.028
Minimum: -0.039, -0.053
Lens distortion within ±0.050 µm
Field inclination:
Max-min within 0.230 µm
Curvature within -0.029 µm
UL-LR, UR-LL within 0.012, 0.092 µm
Stepping accuracy:
Stepping: 3δ≤45 nm - X:18, Y:42
Backlash: 3δ≤45 nm - X:28, Y:42
LSA-EGA
3δ+|X|≤70 nm
Mean-X/3δ: 23
Mean-Y/3δ: 12
3δ+|X|: 14
3δ+|Y|: 32
FIA-EGA
3δ+|X|≤70 nm
Mean-X/3δ: 8
Mean-Y/3δ: 26
3δ+|X|: 21
3δ+|Y|: 20.
NIKON NSR 2205 i11Dは、NIKONが製造した最高級のウェーハステッパーです。完全自動化された精密アライメントマシンであり、ウェハの露出を正確に制御できます。ウェーハステッパーには最適化された光学機器とモーションコントロールシステムが搭載されており、微細かつ高精度な露出処理のための効率的なツールとなっています。精密光学ユニットは、露出パラメータの偏差を低減し、スループットと歩留まりの両方を最適化する均等露出面を確保するように設計されています。このデバイスは、ウェーハにマスクを投影し、正確な露出設定を使用してウェーハ表面にパターンを作成することによって動作します。投影パターンは、投影領域を移動するステッピングモーターでウェーハに適用されます。NIKON NSR-2205I11Dは、高精度サーボモータとエンコーダを組み合わせ、正確な位置フィードバックを提供します。この組み合わせにより、正確な露出設定と最適化された精度レベルが可能になります。ウェーハステッパーは最大8インチのウェーハを処理でき、最大パターン精度は1°の露出角度で1。9umです。NSR 2205I11Dは、長寿命で信頼性の高い設計とメンテナンス時間の短縮により、ダウンタイムとメンテナンスコストを削減するように設計されています。また、ステッパーがキャリブレーションから外れている場合でも、正確なアライメントを保証する自動プリアライナーも備えています。このデバイスには、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、簡単な制御と監視を可能にする幅広い入出力オプションが装備されています。このマシンは、イーサネット接続を介して他のNIKONマシンに接続することもできます。NSR 2205 I11 Dは、正確で信頼性の高い露出処理とスループットレートの向上を提供する包括的なウェーハステッパーです。最適化された光学機械とモーションコントロールツールにより、最適なパターン精度と信頼性を実現し、高精度のモーターとエンコーダにより正確なアライメントを実現します。NSR 2205 i11Dは、長期的な信頼性と低メンテナンスコストのために構築され、要求の厳しい露出プロセスアプリケーションに最適なステッパーです。
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