中古 NIKON NSR 2205 i11D #293606711 を販売中

ID: 293606711
Stepper Resolution: 0.35 NA: 0.63 Exposure wave length: i-Line Reduction: 1/5 Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2205 i11Dは、半導体デバイス製造などのウェーハ製造用に設計された高性能ステッパーです。ステッパーは、0。2から45。0 μ mまでの非常に広い露光範囲を通じて、精密で再現可能な微細加工結果を提供するように設計されています。ステッパーはまた0。05 μ mの極めて低い位置の正確さを誇り、高精度の処理および先端技術開発の適用のための理想的な選択をします。NIKON NSR-2205I11Dは、独自のイメージセンタリング装置を備えており、幅広い露光領域や基板サイズにわたって正確なアライメントと位置精度を保証します。また、センタリングシステムは、高精度で再現性のある性能を提供するために、基板の反り、運動誘発位置誤差、およびレチクルのリフレッシュデフォーカスを補正します。ステッパーにはインテリジェント測定ユニットが装備されており、1回の露出時に詳細なウェハの観察、評価、フィードバックを提供します。シンプルで直感的なユーザーインターフェイスにより、NSR 2205I11Dの使用と管理が簡単になります。ユーザーフレンドリーなコントロールセクションにより、すべてのステッピングパラメータへの迅速で直感的なアクセスと、さまざまな処理条件の詳細なキャリブレーションとメンテナンスが可能です。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)は、視覚的な処理レビューとトレーサビリティを備えたシンプルなセットアップと制御のための自動レシピを可能にします。NIKON NSR-2205 I 11 Dのもう1つの中心的な特徴は、高度な光学機器であり、優れたコントラストとクリアな画像を持つクリーンな画像領域を提供します。ステッパーは、位相シフト技術を使用することにより、欠陥密度が極めて低く、大きな露出領域にわたって高コントラストのフォトマスクを生成することができます。さらに、高速で低消費電力のスキャン能力により、1時間あたり最大4。5ウェーハの処理が可能です。ステッパーの内蔵温度補償と広い作業エリアは、この機能をさらに強化します。全体として、NSR 2205 I 11 Dは、半導体デバイス製造やその他のウェハプロセスにおいて正確で高品質な結果をもたらすように設計された、強力で信頼性が高く、汎用性の高いステッパーです。特にアライメント位置精度が0。05 μ mと低い信頼性が高く、1時間あたり最大4。5ウェーハの処理が可能です。シンプルで使いやすいユーザーインターフェイスと高度な光学ツールにより、NSR-2205 I11 Dは高精度で高度な技術開発アプリケーションに最適です。
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