中古 NIKON NSR 2205 i11D #293587312 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Dは、半導体デバイスの量産用に設計されたフルフィールドiラインステッパーです。NIKON独自のi-line光学系、フルフィールドアライメント機器、精密ステージ、マルチゾーン自動温度制御システム、オートキャリブレーション技術などの高度な技術を駆使し、優れたオーバーレイ精度を実現しています。ニコンのNSR-2205I11Dステッパーは5nm （45nmピッチ）まで分解能を提供し、速いステップおよび繰り返し時間を可能にするために内部列のスキャンの技術を備えています。このステッパーは、高度なハードウェアとソフトウェアのおかげで、高可用性と低所有コストを提供します。光学的には、NSR 2205I11Dは、画像の最適なアライメントを確保するために投影角度とレンズ傾斜角度を自動的に調整するフルフィールドアライメントマシンを利用した色収差のない光学ユニットを使用しています。また、光学ツールにはレーザー干渉計が搭載されており、高精度なフォーカシングが可能です。ステッパーにはレンジファインディングレーザーオプションも装備されており、撮影開始前にレンズを正確に揃えることができます。ステッパーのマルチゾーン自動温度制御アセットは、ステージの温度を最適化し、サブミクロンレベルで優れた画像安定性を実現し、超精密画像およびリソグラフィに最適です。さらに、マルチゾーンウェーハチャックは、ウェーハレベリングを安定して提供し、すべてのイメージングステップの前にウェーハを検査し、反復可能で一貫性のある画像を得ることができます。NSR 2205 i11Dには高度なソフトウェアも搭載されており、セットアップ処理の自動化と最適化が可能です。ステッパーには、最適な画質を確保するためのオートデフォーカス機能や、最高のプロセス再現性とオーバーレイ精度を実現する完全自動焦点調整アルゴリズム、オートキャリブレーション技術など、さまざまなキャリブレーション機能が装備されています。NIKON NSR-2205 I11 Dは、高精度、再現性、低所有コストを確保するために、高度なi-line光学、フルフィールドアライメント、レンジファインディングレーザー、自動温度制御、および精密ソフトウェアアルゴリズムを使用しているため、量産半導体デバイスの製造に最適です。