中古 NIKON NSR 2205 i11D/12D #293794458 を販売中
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ID: 293794458
ヴィンテージ: 1996
Stepper
Reticle size: 5"
Illumination WL: i-line
CD Unifortmity: 400 nm
Overlay: 70 nm
Illumination uniformity: 2.00%
Lens reduction: 1/5
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D/12Dは、高度な半導体リソグラフィープロセス用に設計された最先端のウェーハステッパーです。集積回路の生産において重要な部品として、ウェーハステッパーは、高精度で精度の高いシリコンウェーハに回路パターンを転送する上で重要な役割を果たします。NIKON NSR 2205 i11D/12Dは、最先端の技術、堅牢な性能、比類のない信頼性で知られており、世界中の半導体メーカーに好まれています。NIKON NSR 2205 i11D/12Dの特徴の1つは、ウェーハ表面の望ましい解像度とパターン忠実度を実現するために不可欠な高度なプロジェクションレンズ装置です。ステッパーは、NA（数値開口）の高いレンズ設計を採用し、サブミクロン精度で微細なパターンを投影することができます。レンズのNAは、ステッパーがウェハ上の小さな特徴を解決する能力を決定し、NIKON NSR 2205 i11D/12Dのレンズシステムは、高解像度リソグラフィを実現するために最適化されています。NIKON NSR 2205 i11D/12Dは、高度な光学系に加え、洗練されたアライメントとオーバーレイコントロールユニットを備えており、ウェーハ上に複数のパターン層を正確に登録できます。ステッパーは高度なアライメントセンサーとアルゴリズムを使用して、異なるパターンを正確に整列およびオーバーレイし、複数の回路層を持つ複雑な集積回路を作成できます。ニコンNSR 2205 i11D/12Dには、ウェーハ表面全体に均一で効率的な光の露出を提供する高度な照明装置が装備されています。この均一な照明は、一貫したパターン転送を確保し、パターンの歪みや欠陥を最小限に抑えるために重要です。ステッパーの照明ツールは、特定のリソグラフィープロセスに合わせて調整することができ、さまざまなタイプのフォトレジスト材料に最適な露光条件を提供します。ニコンNSR 2205 i11D/12Dのもう1つの重要な側面は、そのスループットと生産性です。このステッパーは、大量のウェーハを効率的に処理するように設計されており、半導体デバイスの大量生産を可能にしています。NIKON NSR 2205 i11D/12Dは、高度なステージ技術と高速位置決めメカニズムにより、複数のウエハ上のパターンを迅速にスキャンして露出することができ、半導体製造における生産性と歩留まりを最大化します。さらに、NIKON NSR 2205 i11D/12Dには、ロボットウェーハハンドリングシステム、自動校正ルーチン、リアルタイム監視および制御機能など、さまざまな高度な自動化機能が組み込まれています。これらの自動化機能は、リソグラフィー処理を合理化し、人間の介入を減らし、プロセス全体の信頼性と再現性を高めます。要約すると、NIKON NSR 2205 i11D/12Dウェハステッパーは、半導体製造において比類のない性能、精度、生産性を提供する最先端のリソグラフィーツールです。高度な光学、アライメント制御、照明アセット、オートメーション機能を備えたステッパーは、シリコンウェーハ上の複雑な集積回路のパターン作成において卓越した結果をもたらします。半導体メーカーは、NIKON NSR 2205 i11D/12Dに頼って半導体業界のイノベーションと発展を推進し、最先端の電子デバイスの生産に不可欠なツールとなっています。
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