中古 NIKON NSR 2205 i11C #9224341 を販売中

NIKON NSR 2205 i11Cは、ArF（アルゴンフッ化物）レーザーリソグラフィーをイメージングプロセスに使用したウェハステッピングマシンです。この機械は半導体装置の製造のために、特に現代複雑な設計の生産のために設計されています。現在のリソグラフィ設計の全範囲にわたって優れたイメージングを提供します。NIKON NSR-2205I11Cは、2つのArFレーザー光源を中心に構築されています。このレーザー光は、その193nm波長によるクロス汚染の優れた解像度と回避を提供します。レーザー光はレチクルに向けられており、透明で薄いプレートに不透明な模様が描かれています。レチクルプレートのパターンは、ウェーハ上の希望のパターンを定義します。レチクルは、2レンズコンデンサーの下のキャリブレーションテーブルに保持され、レーザー光をウェーハに集中させます。NSR 2205 I 11 Cのウェーハステージは、ウェーハ自体の正確な移動と位置決めのために設計されています。位置決め精度は± 1 μ m以内、ウェーハサイズは最大200mmです。ウェーハステージには、Zeiss primoStar HD自動化されたアライメントシステムが装備されており、正確な調整測定が可能です。これにより、ステージ上のウェーハを正確に登録することができ、レチクルからウェーハにパターンを正確にアライメントすることができます。NIKON NSR 2205 I 11 Cは、位相シフトマーク、生徒バリエーション、リングパターン、アライメントマークなど、幅広いアライメントマークを備えています。これらの機能により、プロジェクションリソグラフィープロセス中にフォトマスクをウェーハに正確にアライメントできます。さらに、NSR 2205 i11Cのオートフォーカス機能により、ウェーハに印刷されたフォトマスクのパターンが正確かつ一貫して生成されます。さらに、NSR-2205I11Cは使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。また、あらかじめ定義されたアライメントと露出レシピのライブラリもあり、保存して取得することができます。さらに、このウェーハステッパーは、プロセスおよび環境条件を正確に監視するために使用できる一連のスマートセンサーを備えています。NIKON NSR 2205 i11Cは、精密なイメージングとアライメント機能により、半導体デバイス製造のための効率的で信頼性の高いツールです。2つのArFレーザー光源は優れた解像度を提供し、Zeiss primoStar HDの自動化されたアラインメントは正確なウェーハの位置決めとアライメントを保証します。スマートセンサーとGUIはユーザー制御を強化し、あらかじめ定義されたレシピは迅速かつ効率的な実装を実現し、複雑な設計の生産を支援します。