中古 NIKON NSR 2205 i11C #9134651 を販売中
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NIKON NSR 2205 i11Cは、半導体デバイスの微細構造部品を効率的に処理するために使用されるハイエンドウェハスキャンステッパーのモデルです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ウェーハアライメントとさまざまな動作条件を簡単に設定できます。NIKON NSR-2205I11Cは、高分解能スポットアレイ検出器、高精度光学、全自動レジスト位置決め装置を組み合わせ、優れたマススループットと精度を実現するよう設計されています。NSR 2205 I 11 Cは、最大32 µmのパターンステップサイズを測定できる高分解能スポットアレイ検出器を使用しています。これにより、ステッパーはウェーハ上のパターンを正確に検出し、その後の画像処理の正確な配置を可能にします。また、スポットアレイ検出器に最適化された高精度光学システムと、位置決め変更によるアライメントエラーを最小限に抑えるフルフィールドマスクアライメントユニットを備えています。さらに、NSR-2205I11Cのレジストポジショニングマシンは、ウェーハと補強チャック間のエアギャップをなくすことで正確な精度を確保し、最適な結果を保証します。NSR 2205 i11Cには幅広い用途があり、検査やアライメント、ウェハ薄膜、バンプ検査、薄膜検査、レーザーマイクロスフィア検査など、さまざまな種類のイメージングプロセスに使用できます。また、セットアップとパフォーマンスをより簡単かつ迅速にする高度なオートメーションと制御機能を備えています。さらに、ステッパーには、高出力ビームスポットサイズと位置を効率的に管理する統合パーティクルビームスキャナが付属しており、提案された構造からより正確なイメージングを提供します。最後に、ニコンNSR 2205 I 11 Cは、オペレータの安全性と信頼性を確保するための十分な安全機能を提供します。それは低電圧操作のために設計され、また電源異常の場合に損傷か機能不全の危険を除去する洗練された力の中断の保護を提供します。NIKON NSR 2205 i11Cには、非常停止スイッチと、手間のかからない操作と環境保護をそれぞれ保証する粉塵および破片エンクロージャが装備されています。
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