中古 NIKON NSR 2205 i10C #9250844 を販売中
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NIKON NSR 2205 i10Cは、200mm径ウェーハの高精度、高速、および信頼性の高いスキャン用に設計されたフルフィールドフルスキャンダイオードレーザーステッパーです。10X対物レンズを搭載し、精密かつ正確なスキャンが可能で、最大200mm径のウェーハを露出することができます。ダイオードレーザー光源と光トラップを備えており、正確な露光特性を発揮します。NIKON NSR-2205I10Cは、非常に高いNA (Numerical Aperture)で50nm以下の分解能を作り出すことができます。ステージの最高速度は13m/sで、XY方向の精度は0。5 ± mにμます。また、ウエハ材料の厚さを考慮して最大0〜100mmのバックフォーカスを適用する機能も備えています。NSR 2205 i10Cはユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、さまざまな露出パラメータをサポートしています。例えば、最大3つのウェーハの露出設定を保存できるため、露出設定を素早く簡単に切り替えることができます。NSR-2205I10Cは、石英やシリコン基板などのウエハ素材にも対応しています。NIKON NSR 2205は非常に汎用性が高く、さまざまなサイズの解像度のウェーハを製造するために使用できます。また、連続した露出にも使用でき、ウェーハは異なる焦点で露出することができます。さらに、NIKON NSR 2205 i10Cは、露光面積が非常に小さい場合でも正確なフォーカス制御が可能な高精度フォーカス制御システムを備えています。NIKON NSR-2205I10Cは、ダウンタイムを最小限に抑えて使いやすい設計になっています。それはユーザーフレンドリーであり、露出設定はすべて正確に制御することができます。また、露出エラーを最小限に抑え、生産性を最大化するように設計されているため、信頼性も高いです。また、低メンテナンスであり、1年間の保証が含まれています。全体的に、NIKON NSR 2205は、優れた機能を備えた正確で信頼性の高いウェーハステッパーを求める方に最適です。精密な制御で高解像度のウエハを製造することができ、使いやすく費用対効果も高い。
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