中古 NIKON NSR 2205 i10C #9249692 を販売中

NIKON NSR 2205 i10Cウェーハステッパーは、半導体製造業界で使用される最先端のリソグラフィーツールです。様々な機能を備えているため、最新のマイクロエレクトロニクスと高度なマイクロエレクトロニクスの両方の複雑な機能を製造することができます。NIKON NSR-2205I10Cはステッピングベースのリソグラフィ装置で、紫外線（UV）レーザーと投影画像を用いてシリコンウェーハ上にフォトレジストを露出させます。2つのリソグラフィーモードで非常に正確に動作し、固定フィールド、マルチスキャン、またはプログラマブルテックスキャン技術でウェーハを露出します。また、迅速で信頼性の高い露光操作を実現する高度な校正機能も備えています。NSR 2205 i10Cは、さまざまな基板に対応できる12インチから200 mmのクォーツウェーハステージを備えており、パフォーマンスを向上させるために1000Hzのステージアップデート周波数を備えています。高速動作により、高速かつ正確な露出が保証され、デュアルソースレーザーシステムは395nmと405nmの両方のUVレーザーを採用し、最大6mJ/cm²の波長伝送が可能です。これにより、小さな解像度と広い露光ダイナミクス範囲が保証されます。また、露光セッションごとに最大24の還元層の還元比を持つ高性能ポリッシャーを備えています。NSR-2205I10Cにはデータ不変領域補償器も装備されており、マニュアルマッチング時間を短縮し、再現性と一貫したパフォーマンスを実現します。フィールドバイフィールドフォーカス補正により、加工されたウェーハ全体の露出の均一性とレジスト厚さの精度を保証します。効率的な冷却装置により、ウェハを素早く冷却し、レジストに損傷を与える可能性のある温度変動を防ぎます。さらに、NIKON NSR 2205 i10Cは、直感的な機械制御オプション、自動校正、ステップとリピート校正、露出モード制御、パフォーマンス監視など、幅広い最適化された機能を備えています。これらの組み合わせにより、半導体デバイスの設計と製造のための統合された柔軟なソリューションが作成されます。NIKON NSR-2205I10Cウェーハステッパーは、最先端のマイクロエレクトロニクスを製造するメーカーに最適な、高度で汎用性の高いリソグラフィーツールです。アセットの高度な機能により、正確かつ正確な露出、効率的な供給、および高性能なリソグラフィー操作が保証され、メーカーに究極のリソグラフィーソリューションを提供します。