中古 NIKON NSR 2205 i10C #9092314 を販売中
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ID: 9092314
Steppers, 8"
Standard resolution: 0.45um
Variable field size: 20mm x 20mm (15/17 .5/20mm)
Ultra high pressure mercury arc lamp
Ball screw wafer stage
Reticle library: 5"
Extended wafer carrier table
SHRINC 1
Computer hardware: Nikon NEST
Alignment system: LSA & FIA
Multipoint autofocus and leveling
Chip leveling
ASM measurement software
Self Measurement Program (SMP).
NIKON NSR 2205 i10Cは、半導体半導体製造プロセスで使用される高度で高精度なウェーハステッパーです。この光学的ベースの自動ウェーハステッパーは、チップの製造に使用される繊細なリソグラフィックパターンを数秒でウェーハに正確に転送することができます。高度で洗練されたイメージング装置でこの精度を実現します。NIKON NSR-2205I10Cは、ビジョンシステム、2次元スキャンユニット、大型高精度ステージ、高解像度カメラレンズなどのコンポーネントを設計に組み込んでいます。これにより、最適な画像性能と一貫した結果が保証されます。高解像度イメージングカメラとリニアスキャンマシンを組み合わせたフィールドレンズを採用し、優れた画質を実現しています。カメラはロボットアームに取り付けられており、視野内を自由かつ容易に移動することができます。フィールドレンズはまた、ディテールとフラットなフィールドの可能性を持つシャープな画像を確実にする広い被写界深度を保証します。ロボットアームに搭載された高解像度カメラは、高速に連続して高解像度の画像を撮影し、高速なウェハ処理と露出を可能にします。レーザーは急速にそして正確に拒絶し、完全に集中されたイメージを保障します。2次元スキャンツールは、X軸とY軸に沿ってスキャンすることができ、最大の画像解像度を可能にします。NSR 2205 i10Cは、コンピュータからウェーハにパターンを正確に転送するように設計された洗練されたリソグラフィーソフトウェアも備えています。ソフトウェアは、ユーザーが迅速かつ効率的にパターンが正確であることを確認し、リソグラフィを変更することができます。さらに、NSR-2205I10Cは多くの安全機能を備えています。ウェハハンドリングアセットには、ウェハが汚染されないように保護カバーが装備されています。端の障壁は潜在的な害からウェーハを保つように設計されています。ビジョンモデルは、プラズマ環境を継続的に監視し、潜在的な問題を検出するように設計されています。そして最後に、装置の中でウエハーが傾き始めたらオペレータに警告するように設計されている傾き警報があります。全体として、NIKON NSR 2205 i10Cは、超精密処理機能を提供するために設計された強力な装置です。洗練されたイメージングシステム、リニアスキャンユニット、精度と一貫性を確保するための洗練されたリソグラフィーソフトウェアを備えています。また、ウェーハが機械中に汚染されないようにするための安全機能を多数備えています。
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