中古 NIKON NSR 2205 G8 #152212 を販売中

NIKON NSR 2205 G8は、NIKON STEPウェーハステッパーシリーズの一部であるウェーハステッパーです。半導体製造のフォトリソグラフィ段階で使用され、レチクルからシリコンまたはガラスウエハ上のフォトレジストに回路パターンを転送することができます。NSR 2205 G8は、高い光学性能、精度、解像度を備えています。NIKON NSR 2205 G8には、フィールドレンズ、ステップレンズ、プロジェクターレンズ、イメージスキャンアセンブリ、レチクルなど5つの光学部品を備えた光学機器があります。フィールドレンズは、オブジェクトと画像側の違いから生じる収差を補正します。ステップレンズは、レチクルの回路パターンを複数の位置に転送するために使用されます。プロジェクターレンズは、レチクル画像を大型の中型表面に投影します。また、高いピンポイント精度を可能にする大きな倍率パワーを備えています。Image Scanning Assemblyは、シャッター転送の約15倍の精度でウェーハを超高速でスキャンします。最後に、リチクルは、正確なアライメントを確保するために、逆投影イメージングに使用されます。NSR 2205 G8には、高精度と高精度を保証するいくつかの機能があります。超精密レチクルアライメントは、新開発の差動オートアライメントシステム（DAAS）を使用しており、レチクル表面の高さを測定し、可動ステージを調整して精度を最大限に高めることができます。また、ウェーハ表面の変位を測定し、露出前に必要な補正を行うことによって焦点を調整するために使用されるオートフォーカスレベリングもあります。これにより、高精度の高解像度イメージングが可能です。また、NIKON NSR 2205 G8は、非常に最適化された光源を提供し、最も革新的なイメージング性能のために、照明の均一性の長期的なドリフトを最小限に抑えるのに役立ちます。また、省エネ冷却ユニットを搭載し、エネルギー効率を最大化しています。熱電冷却装置と熱交換器を使用しており、急速な温度上昇が可能なため、従来の冷却装置よりも少ないエネルギーを必要とします。NSR 2205 G8はまた、温度、湿度、周囲光の変動などの外部影響による不均一性の低減に役立つユーザーフレンドリーなVARI露出インターフェイスを提供します。これにより、極端な環境でも画質が安定していることが保証されます。さらに、最大24種類のパターンを同時に認識できる強力なパターン認識ツールを備えており、さまざまなレチクルをサポートしています。全体として、NIKON NSR 2205 G8ウェーハステッパーは、優れた性能、精度、解像度でさまざまなウェーハステッパーアプリケーションを処理するように設計された信頼性の高い正確なデバイスです。その高度な機能は、信頼性が高く、反復可能なイメージング性能と効率的で省エネ操作を提供します。