中古 NIKON NSR 2205 EX14D #293817938 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 293817938
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.65
Resolution: 250-400 nm
DCO: 40
Throughput (WPH): 99.
NIKON NSR 2205 EX14Dウェーハステッパーは、微細構造の表面に回路を作成するために使用される高度なウェーハリソグラフィ装置です。この装置は完全に統合されたコンピューター制御の4段ウェハスキャナーステージシステムを備えており、効率的な操作と精度の基礎となっています。NIKON は、最小線幅0。6 mの0。5 mのパターン均一性を実現 ます。アライメント精度は最大0。8 μ mです。NSR 2205 EX14Dには、0。15 μ mの高出力UVレーザスポットサイズと、1kピッチ以上の優れた最大画像解像度を実現する高輝度ニコン露光ユニットも搭載しています。このマシンには、4つのマルチレベルパターニングおよびウェーハ処理プロセスと、温度、ガス、エンドポイント、スキャンレート、旋回角度を制御する機能を含む高度な制御精度が装備されています。NSR-2205EX14Dには、ユニークなSPC1ソフトウェアパッケージからなる最先端のリソグラフィーソフトウェアがあり、ユーザーは露出とウェハアライメントプロセスの両方のパラメータをプログラム、分析、修正し、レポートを生成することができます。さらに、ソフトウェアは、各サンプルの品質管理を確実にするために、さまざまな最適化アルゴリズムを展開するために使用することができます。このツールはまた、さらに結果を固化するために、その16チャンネルラインジェネレータを利用しています。セキュリティ面では、NIKON NSR 2205 EX14Dは、複数のロックアウト機構を持つように設計されています。さらに、有害化学物質の使用を防止するためのアクリレート(PMMA)カラーフィルター材料が付属しています。結論として、NIKON NSR-2205EX14Dは、半導体業界における薄膜エレクトロニクスおよび微細構造の製造に主に適した高精度で安全なウェハステッパーです。4段階の高精度ウエハスキャンモデル、強力なUvレーザー、SPC1なソフトウェアパッケージを備えており、洗練された機能が最高効率であることを保証します。また、セキュリティメカニズムとカラーフィルターを通じて高いレベルの保証を提供します。
まだレビューはありません