中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9379629 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14Cは、ウェーハの正確で均一な露出を可能にするように設計された最先端のウェーハステッパーです。14インチ、5ミクロンの解像度、クラスをリードする液浸光学系、特許取得済みの液浸レンズを備えており、超微細パターニングの極端な制御と精度を可能にします。NIKON NSR-2205EX14Cはクリーンルーム用に設計されており、最大300mmのウエハサイズの加工に最適化されています。最高のプロセス安定性とウェーハ間のバリエーションで高いスループットを実現します。5nmのアライメント精度と0。1nmの再現性を備え、10nm構造の1ショット露光を提供します。NSR-2205 EX14Cは、NIKON独自のマルチビーム光学機器を搭載しており、1回のスキャンで2次元露光を可能にします。また、透明領域においても低収差イメージングと高透過性を実現しています。このブースでは、画期的な6度自由型シングルアームメカニズムを採用し、単一のARMフィルタスキャン機構を採用し、画像の安定性と精度を向上させています。ウェハステッパーには、マルチプロセスイメージのキャプチャと並列画像処理をサポートするモジュラーI/Oボードも備えています。このユニットはスループットを向上させ、生産におけるバッチ・ツー・バッチの一貫性を導入します。ステッパーは、露光時間が限られた高度な高解像度CCDカメラを使用しており、品質を損なうことなく、より迅速な処理時間を実現します。NSR 2205 EX14Cには、レシピスタイル構成のレシピ制御操作も含まれており、複数のレシピのメモリ管理が可能です。また、欠陥露出条件と露出パラメータを検出して除去する検査機も含まれています。ウェーハステッパーは、オプションのステージスキャナの使用をサポートしており、複雑な構造のために1つの操作で完全に露出することができます。最後に、ウェーハステッパーを最大限に活用するために様々なアクセサリーやソフトウェアが利用可能です。NSR 2205 EX 14Cは、精密かつ均一な処理を実現する強力なツールです。ウエハーなどの基板上の超微細パターンや透明領域の製造に最適です。