中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9375190 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14Cは、高精度で大量のウェーハステッパーです。ステッパーは、高度なオートメーションと強化された低消費電力と優れた生産性のための新しいステージ設計を組み合わせています。ウエハサイズは、センターホールとシャンクの標準構成で8インチから12インチまで許容範囲があります。そのユニークな特徴は、ロールオーバーステージ、統合されたヒートプレート、統合された光学系で実行するハイレベル自動化装置（HLAS）です。これにより、大量、高精度のアプリケーションに最適な精度が保証されます。ステッパーは非常に安定した、岩石固体スキャン場を持っています。ロボットアライメントシステム（RAS）と高速情報交換を採用した高速で高解像度のモータードライブを搭載し、動作安定性を向上しています。また、最大リップル補正ユニット（MRCS）を搭載し、ウェーハの連続動作を可能にし、ウェーハの変形を補正しながらアライメントを維持します。これにより、頻繁なフォーカス調整を必要とせずに、高精度のレイヤ間オーバーレイが容易になります。ステッパーには、モーションコントロールマシン（MCS）と精密な位置決めのための組み込みアライメントツール（ALS）、および0。25マイクロメートルの最大3次元アライメント精度を備えています。また、露光時間の長い結果が改善され、焦点の深さが大きくなりました。その結果、NIKONは数日間にわたって業界最高のインデックス精度と安定した動作を達成しています。ステッパーには、高密度照明アセット（HIS）と高出力照明ディセーブル曲線（IC）があり、照明の均一性と粒子レベルの低減を向上させます。また、腐食性液体の効率的な自動攪拌のために設計されたNIKON排他的自動攪拌&エッチング（FX）を備えています。これにより、人的介入を必要とせずに歩留まりを改善し、運用コストを削減することができます。NIKON NSR-2205EX14Cウェーハステッパーは、ウェーハの状態を監視し、最適な製造歩留まりと長期的な再現性を確保する高度なプロセス制御装置を備えています。このシステムには、高信頼性の結果を提供するためのパラメトリックおよび統計的プロセス制御方法が装備されています。最後に、それはまた均一な熱配分を保障し、連続的な操作の長期にわたって機械を保護するために冷却機構を特色にします。