中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9364212 を販売中
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NIKON NSR 2205 EX14Cは、最先端のウェーハステッパーです。ステッパーとスキャン技術を組み合わせたリソグラフィ装置で、超小型機能サイズのマイクロプロセッサなどの半導体デバイスを製造しています。このシステムは、サブミクロン精度で0。17ミクロンの狭いラインを印刷することができます。NIKON NSR-2205EX14Cは、イメージパターンの高倍率を実現できる先進的な光学レンズユニットを搭載しています。レーザー干渉計を使用して機械内の振動を補正し、イメージング中に最大限の精度を得ることができます。このツールには、パターンイメージを高い精度でウェーハに整列させる自動アセットが含まれています。これにより、ロット間での再現性が保証されます。また、フロントサイドのアライメントモデルでは、照らされたクロスヘアを使用して、マスク層をウェーハ上に正確に配置します。NSR-2205 EX14Cまた、長いウェハラン中に高画質とスループットを維持するために、化学的および機械的安定化システムを使用しています。これには、画像の歪みを防ぐ化学的脱着装置と、システムの温度を維持する熱交換器が含まれます。ユニットの操作は、デバイスパラメータを簡単に解釈できるように設計されたグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によって制御されます。GUIは直感的な設計でシンプルで効率的な操作を可能にし、ユーザーが簡単に生産を開始し、高品質の画像を取得できるようにします。GUIには、ウェーハプロセスの分析を支援するクロスセクション画像のデータベースも付属しています。要するに、NIKON NSR-2205 EX14Cは、高品質の画像を大量に再現可能な結果で提供することに焦点を当てた最先端のウェーハステッパーです。高度な光学システム、自動化されたアライメントシステム、化学的および機械的安定化システムを使用して、最高品質の結果を保証します。最後に、マシンは直感的なGUIを使用して制御され、わかりやすく操作できます。
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