中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9301516 を販売中
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ID: 9301516
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Stepper, 8"
Resolution: 0.25um
Wafer loader type: Type3, NC Pre2
Reticle, 6"
Max expose field size: 22 mm x 22 mm
Reticle library: (10) Slots
CYMER 5400 Laser system
PPD
Bar code reader
Alignment system: LSA, FIA
Inline: Left
Chamber type: Sendai S32
2000 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C Wafer Stepperは、様々な基板上の感光抵抗の厚くて薄い層の精密パターンに設計された汎用性の高いフォトリソグラフィ装置です。NIKON NSR-2205EX14Cは、高周波スキャン経路、高解像度プロジェクションオプティクス、デジタルイメージング機能、包括的なソフトウェアパッケージなど、最先端の機能を備えています。NSR-2205 EX14Cのデジタルイメージングシステムは、パターン化されたレジストの非常に詳細な画像を取得することができます。これは、パターン化されたフィールド全体に均一な露出を確保する高度なレーザー露出とレーザー照明技術を使用して達成されます。このユニットには、設計規則に従って構造物やその他の機能を正確に配置できる洗練されたマスキング機能も含まれています。NSR-2205EX14Cの高周波スキャン経路は、感光抵抗を高速で広範囲に処理するために使用されます。これは、複数の可変スピードモータ、ステージコントロールタイプサーボ、および露光中のステージの正確な位置決めを可能にするロータリーエンコーダを組み合わせて実現します。さらに、高周波スキャン経路により、レジストが長さ全体に均一に露出し、歪みを最小限に抑えます。また、NIKON NSR-2205 EX 14 Cは、超高解像度のプロジェクションオプティクスを搭載しており、パターン化された構造を正確に画像化することができます。この光学系は、高い数値開口と低い歪みを提供し、非常に細かいディテールを正確にパターン化することができます。また、光学系は広い被写界深度を提供し、ステッパーは歪みのない小さな特徴の重なり合う層をパターン化することができます。最後に、NSR 2205EX 14Cは、フォトリソグラフィーツールの全体的な動作を管理する包括的なソフトウェアパッケージを備えています。このソフトウェアはユーザーフレンドリーで直感的であるように設計されており、ジョブスケジューリングやデータ管理から、重要なパラメータのフォトン線量監視やロギングまで、幅広いカスタマイズ可能なオプションをユーザーに提供します。NSR 2205 EX14C Wafer Stepperは汎用性が高く信頼性が高く、高精度なフォトリソグラフィ資産であり、広範囲にわたり優れた精度で様々なレジストをパターン化できます。これにより、幅広いフォトリソグラフィ用途に最適です。
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