中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9273096 を販売中
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ID: 9273096
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
Stepper, 8"
Reticle: 6"
Reticle library: 10
Field size: 22 mm
NA Variable
Reduction ratio: 1/5
Pre alignment
CCD Camera
Particle detector type: PPD3
Wafer loader: Type 3
Multipoint AF (49 Channels)
Inline: Right (ACT 8)
EXCIMER ELS 5410 Laser
Illumination: 1 kW
FIA
No LIA
No periphery exposing
Base kit: BASEEX502-0011C
Highland type: Standard
Chamber temperature: 23°C
1999 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14Cは、半導体デバイスの製造に使用されるスキャンステッパーです。ウェーハ露出に適した多彩な機能を備えたオールインワン装置です。プロフェッショナルクラスのステッパーは、最大6micronの解像度で、高解像度のイメージングと低歪みイメージングを提供します。これは、最新の製造プロセスを使用して、ハイエンドのプロセス互換性のために設計されています。さらに、システムの先進的なモータ技術により、低振動と高速な画像処理速度で長時間露光を可能にします。NIKON NSR-2205EX14Cには、シングルパルス露光（SPE）とブロードキャストスキャンユニット（BBS）の2つの露光モードがあります。どちらのモードも、フラットパネルディスプレイと半導体デバイスの両方の高精度生産に役立ちます。SPEモードは焦点深度制限なしで0。3ミクロンまでの高解像度を提供し、BBSモードは露光時間を短縮したウェーハの大量生産を可能にします。ステッパーはまた、レシピ管理とプログラミングをサポートし、プロセス制御を改善します。このソフトウェアは、ジョブトラッキング、オーバーラップ露出スキャン、自動露出フォーカススキャン、画像マッチングなどのさまざまなツールを提供しています。このマシンは、操作とメンテナンスのためのユーザーフレンドリーな環境を提供します。これは、プログラミング時間を最小限に抑え、ウェーハ露出中のステップの検証を可能にする直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。さらに、このツールには、大規模な安全ガードや電動ウェハバッチハンドラなど、さまざまなインテリジェントな安全機能が含まれています。全体として、NSR-2205 EX14Cは経済的でありながら高性能なウェーハステッパーであり、さまざまなアプリケーションに高品位のイメージングと生産を提供するように設計されています。高度な機能と直感的なユーザーインターフェイスを備えたこのアセットは、大規模なチップ生産に最適です。
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