中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9251796 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14Cは、半導体デバイスのサイズを小さくしながら、マイクロ電子回路を正しく整合させるように設計されたウェハステッパーです。それはフォトマスクのための非常に精密なパターンを作り出すことができる高度の液浸のリソグラフィ装置です。このシステムは、従来の屈折投影光学ユニットによって導入された収差を低減する最新の没入光学技術を搭載しています。また、高精度のウェーハステージと高精度のピエゾカメラを搭載し、アライメント精度を向上させています。NIKON NSR-2205EX14Cの最先端オプティクスは、高いウェーハスループットを実現し、1。35の数値開口（NA）を備えています。この光学系は、視野全体にわたって高い均一性を確保するのに役立ちます。x方向に10 x 10 mm、 y方向に6。2 umまでのフィールドサイズが可能です。このツールは、x方向とy方向に0。6 umのステージリピータビリティを備えた直径180 mmまでのウェーハをパターン化するように設計されています。また、ステッパーまたはスキャナ操作を使用して露光条件を変化させるための3〜15mmの画像フォーカス範囲を誇ります。さらに、NSR-2205 EX14Cには、露出やその他のパラメータを制御する次世代のWindows XPベースのユーザーインターフェイスが付属しています。このユーザーインターフェイスは、システム露出条件の包括的な概要を提供し、設定をすばやく調整し、正確な結果を確実にすることが容易になります。インターフェイスには、オートフォーカス、オートレチクルアライメント、画像補正などのソフトウェアツールも含まれています。NSR 2205 EX 14Cには、ウエハーマークリーダーも内蔵されています。これにより、ウェーハにエッチングされた部品番号が正しく識別され、資産ログに安全に保存されます。さらに、内部部品温度を低減し、モデルの安定性と耐久性を高める高度な冷却ユニットを装備しています。全体として、NIKON NSR 2205 EX 14Cは、高度な半導体デバイス製造のための正確なアライメントとパターン精度を提供するように設計された高度なリソグラフィ装置です。革新的なイメージング技術、高精度のイメージングシステム、ユーザーフレンドリーなWindowsベースのインターフェース、内蔵のウェハーマークリーダーを備えています。ロジックゲートリソグラフィや高密度相互接続配線などの用途向けに設計されています。