中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9247817 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14Cウェーハステッパーは、半導体業界における精密な動作のために設計された最先端の微細加工機です。このステッパーは、最先端のウェーハステッパーと考えられ、高度な精度と速度制御で設計されています。NIKON NSR-2205EX14Cウェーハステッパーは、正確なビーム位置決めのための5軸アライメントと自動化されたアライメントで精度と汎用性を促進するスプリットフィールド光学機器を備えています。最大露光面積は115mm x 115mmで、より大きなダイサイズのアプリケーションに最適です。その5倍減少光学システムは、詳細な図のための収縮機能を提供します。アロマアライメントユニットは、ウェーハ上の非常に小さなパターンで高精度を保証し、低収差を維持します。スピード面では、NSR-2205 EX14Cは1時間あたり最大140ウェーハの露出率が高い。その先進的な電動ステージにより、ウェーハの迅速なスキャンが可能になり、高速レンジスイッチングにより、露出とスキャン操作を素早く切り替えることができます。自動化されたアライメント機能と高精度温度制御マシンを組み合わせることで、あらゆる露出で高精度な結果が得られます。NSR 2205 EX14Cには2つのレーザーアライメントシステムが装備されており、サブミクロン精度1nmのウェーハのアライメントを微調整できます。さらに、このツールは半自動フォーカスアセットを統合して、ミスフォーカスを低減し、投影品質を最適化します。NIKON NSR 2205EX 14Cウェーハステッパーは、半導体業界の厳しいニーズに応えるために設計された最上位モデルです。高精度・高速制御を搭載し、露光・スキャン操作で超高解像度を実現しています。高度なアライメントシステムは、優れた精度と信頼性を提供し、半自動フォーカス装置は投影品質を最適化します。5x還元光学システムは、詳細な図に収縮機能を提供し、その無彩色アライメントユニットは、ウェーハ上の非常に小さなパターンで高精度を保証します。全体として、NIKON NSR-2205 EX 14 Cは、最高レベルの性能を必要とする動作に理想的なウェーハステッパーです。