中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9209755 を販売中

ニコンNSR 2205 EX14Cウェハステッパーは、高度で強力なリソグラフィ装置ツールであり、リソグラフィープロセスの継続的な運用と生産性を提供します。NIKON NSR-2205EX14Cウェーハステッパーは、最大0。280ミクロンの解像度でウェーハを測定・露出するために使用されます。高精度の光学機器を使用しており、入射光位置は最大24mm、角形ウエハは最大14mmの露出が可能です。ステッパーには、わずかに湾曲したウェーハ用のx2e回転露出システムと、ウェーハの深さを測定するEureki露出アライメントオートフォーカスユニットが装備されています。このマシンは、性能と信頼性のために機械的、光学的および電気的サブアセンブリを備えた超硬式マルチチャンバー設計で構築されています。6軸アライメントと11軸アライメント制御センサを備えた堅牢なカウンターウェイトツールをベースに、ウェーハの正確な位置決めを実現しています。NSR-2205 EX14Cには、正確な画像処理能力と完全露光モデルを実現するために、軸スキャンと横断スキャンの両方を含むコリメータアセットも装備されています。さらに、ステッパーは高速処理装置と大容量のメモリで設計されており、高解像度のパターニングが可能です。NSR-2205EX14Cは、ヒーターモジュールとクーラーモジュールを備えた熱制御システムを内蔵しており、効率的な冷却と均一な温度分布を実現しています。ステッパーはまた、クリーンで汚染のない環境を確保するために、排出制御ユニットで構築されています。さらに、ステッパーは、露出中のウェーハの損傷から保護することができる自動保護コーティング機で設計されています。NSR 2205EX 14Cウェーハステッパーは、高精度イメージングを必要とするあらゆるリソグラフィーのニーズに対応する効率的で信頼性の高いステッパーです。この装置は、最大0。280ミクロンの解像度、曲面ウェハ用x2e回転露出ツール、Eureki露出アライメント自動焦点アセット、マルチチャンバー構造、高速処理モデルをサポートし、最新の画像処理技術から最大の性能を引き出すことができます。このマシンは、ユーザーの利便性、堅牢性、柔軟性を大幅に提供します。