中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9192103 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14Cは、5インチのステッピングプロジェクションアライナーで、さまざまな微細加工アプリケーションに使用できます。半導体、フォトマスク、マイクロデバイスウエハーの特徴を正確かつ繰り返しパターン化するように設計されています。NIKON NSR-2205EX14Cは5インチプロジェクションエリアを備え、最大6インチウェーハに対応できます。これは、様々な倍率で動作し、最大0。25ミクロンの解像度を提供することができます。このマシンは、スループットと柔軟性を高めるために、最大4つの異なるイメージングチャネルをオーバーレイすることができます。また、ウェーハ内の加工不規則性にも対応できるよう、柔軟性にも優れています。NSR-2205 EX14Cは、正確なアライメントを確保するのに役立つビームブランキング装置を備えています。また、歪みを低減する反射防止コーティングを備えています。このシステムは、高分解能の長波長レーザー干渉計ユニット（LIS）を使用して、基板の位置を0。1ミクロンの精度で測定します。ピエゾアクチュエータによって駆動されるステージを備えており、高い精度と再現性を提供します。また、Rastek-G気体サーボツールを搭載しており、ジッタなしでステージへの微調整が可能です。NSR 2205 EX14Cは、高速加速と減速、高精度な位置検出にリニアモータを使用しています。150mm/秒のスループットで、1時間あたり最大10,000ウェーハを処理できます。NIKON Smart Corneal Alignment （SCA：ニコンスマートコルネールアライメント）モデルを採用しており、セットアップ時間を大幅に短縮できます。NIKON NSR 2205 EX 14Cは、パターニングウエハに加え、エージング、成膜、エッチングなど、さまざまな高精度な微細加工アプリケーションに使用できます。また、ウェーハイージースキャン（WES）モードも用意されており、非接触ウェーハ検査の自動化、欠陥監視と分類の自動化を実現しています。NIKON NSR-2205 EX14Cは、あらゆる微細加工用途向けの高精度で信頼性の高いステッピングプロジェクションアライナーです。汎用性とパワフルさがあり、最も要求の厳しい生産環境に対応するように設計されています。