中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9157720 を販売中

ニコンNSR 2205 EX14Cは、ウェーハの加工に使用されるウェーハステッパーです。このデバイスは、生産環境に高度なリソグラフィ機能を提供し、生産コストを最小限に抑えながらスループットを最大化します。NIKON NSR-2205EX14Cは、汎用性と高解像度イメージングのために、短い作業距離を持つGライン光学システムを使用しています。このステッパーはまた、最大のオーバーレイ精度と速度を可能にする5ステップの線量制御を備えています。NSR-2205 EX14Cは、4インチから8インチのウェーハまで、4インチの最小機能サイズの大型基板に対応できます。0。10 μ mの超高解像度を備えており、優れたエッジ・オブ・フィールドの均一性と異なるパターンの優れたオーバーレイ・アライメントを提供します。ローカルパターニングのために、このウェーハステッパーには、異なるパラメータを持つ複数のフィールドのパターニングを可能にするマルチフィールドパターニング機能が付属しています。NIKON NSR 2205EX 14Cのハードウェアには、静電チャックと、重い基板を処理するための耐振動段が改善されています。フォーカスメモリはレンズの位置を素早く確保し、高速動作を実現します。さらに制御には、反射防止コーティングと、より正確な位置決めのためのエアベアリングスピンドルを内蔵しています。生産性に関しては、NIKON NSR 2205 EX 14Cは、4インチウェーハのサイクルタイムが1。3分と低く、効率的な動作を目指して設計されています。このデバイスには、ウェーハ回転機構による振動影響を低減するための高調波補償モードが内蔵されています。さらに、ウェーハステッパーは、ユーザーに自動メンテナンスと監視を提供し、生産プロセスをより制御します。NSR 2205EX 14Cは全体的に生産環境に最適なウェーハ処理ツールです。高度なリソグラフィ機能と超高解像度イメージングにより、最高の精度と精度を実現します。長距離G線光学システム、マルチフィールドパターニング機能、効率的な操作により、スループットを最大化し、コストを削減することができます。