中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9142660 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14C
ID: 9142660
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2005
Stepper, 8' 2005 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14Cは、半導体ウェーハ上の高精度なパターンを再現するために使用される高度なウェーハステッパーです。ワークフローを最適化するために設計されたコンパクトな装置で、高速なパターン配置、幅広い反復可能で正確な動作範囲、高スループット、コンパクトで費用対効果の高い構成を提供します。NIKON NSR-2205EX14Cは、6軸モーションコントロールユニットと18位置回転テーブルを搭載しています。このユニークな組み合わせにより、これまでにない精度と精度を実現します。ステッパーは、絶妙な精度で両軸に沿って直径12インチまでの基板サイズを扱うことができます。反復可能な動きの範囲は0。6ミクロンと小さいです。NSR-2205 EX14Cの中核には、最新のニコン独自のレンズ技術を使用した高解像度光学系があります。それは2つの交換可能なレンズを提供します; と を します。このシステムは、12インチのウェーハで最大14,000 ライン/mmの解決が可能です。また、チップのさまざまな部分でパターン解像度を最適化するために、1つのレンズから別のレンズに切り替える機能を備えた複数の露出にも対応しています。このユニットは、高速かつ正確なウェーハステッパーを必要とするプロセッサに最適です。NIKON NSR-2205 EX14Cの高いスループットは生産サイクルを短縮し、再現性の高い精度はウェーハ上のすべての部品が完全に配置され、整列されていることを保証します。ステッパーには、自動アライメント、自動クリーニング、非接触焼成、エッジ検出、偏差制御など、プロセスの安全性と精度を向上させるさまざまな機能が組み込まれています。NSR 2205EX 14Cは、機械を制御するフレンドリーで使いやすいソフトウェアと優れた精度を組み合わせることで、比類のないウェーハステッパーを提供します。このハイテクツールは、高精度で信頼性の高い半導体コンポーネントを製造するための最も包括的で費用対効果の高いソリューションを提供します。
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