中古 NIKON NSR 2205 EX14C #9085237 を販売中

NIKON NSR 2205 EX14Cは、NIKONの最先端ウェーハステッパーで、多種多様な半導体プロセスに最適です。EX14Cモデルは、高解像度、高精度、および高スループット性能のユニークな組み合わせを提供します。ステッパーの解像度は0。1ミクロンで、最先端のリソグラフィと検査プロセスをサポートできます。また、高解像度により、正確な位置決めと安定した空間関係でフィーチャーサイズのコンポーネントが生成されます。ステッパーには、直径200mmまでのウェーハをサポートできる6インチウェーハチャンバーが装備されています。機械は80℃の最高動作温度を備えており、小型で壊れやすい複雑な部品を高精度で損傷なく製造することができます。ウェーハステッパーは、8段階の多軸装置を備え、4つのリニアモータを使用して正確さと動きの精度を確保しています。ステッパーをX軸とY軸で1〜μ m単位で移動させることで、ステッピングするウェハを正確に操作することができます。また、5要素レンズを搭載したセグメント化されたCCDカメラを搭載し、ステッピングパターンの高精度な取得とイメージングを可能にしたEX14Cです。NIKON NSR-2205EX14Cには、リソグラフィープロセス全体をサポートする強力なソフトウェアスイートも装備されています。このソフトウェアを使用すると、リモートコントロールパネルからステッパーを監視および制御することができます。このソフトウェアには、データロギング用の統合データ収集モジュール、およびパターニングジョブを構成するためのユニット内ジョブエディタも含まれています。さらに、NSR-2205 EX14Cウェーハステッパーは、自動ウェーハハンドリング機能を含む、いくつかの異なるシステムと統合することができます。この機械は、業界標準の複数のロボットアームを使用することができ、ウェーハの積み降ろしプロセスをはるかに容易にします。この機能は、特に大量の高精度の製造プロセスに役立ちます。全体として、NSR 2205 EX 14Cは強力で高精度なウェーハステッパーであり、半導体業界の精密リソグラフィープロセスに最適です。ステッパーの小型でコンパクトな設計、高解像度、統合されたツールにより、ユーザーは高いスループットを維持しつつ、高精度で精密に設計されたパーツを作成できます。